Mendapatkan lebih banyak panas pada wafer Anda (tanpa pemborosan energi)
Saat bekerja dengan wafer semikonduktor, kontaminasi kimia merupakan masalah yang serius. Itulah mengapa kita menggunakan lampu inframerah yang bebas ozon. Namun, masalahnya bukanlah seberapa banyak panas yang dapat dihasilkan, melainkan seberapa banyak energi tersebut yang benar-benar sampai ke wafer, bukannya hilang begitu saja.
Di sinilah peran reflektor berlapis emas.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang menggunakan aluminium sebagai bahan reflektor, tetapi aluminium justru menyerap energi inframerah secara berlebihan. Emas berbeda; ia mampu memantulkan foton inframerah dengan efisiensi yang tinggi. Dengan demikian, energi tersebut tidak terbuang sia-sia untuk memanaskan bagian mesin, melainkan langsung disalurkan ke wafer. Anda akan mendapatkan lebih banyak panas dari setiap watt energi yang digunakan. Ini merupakan cara yang lebih cerdas.
Perhatian terkait panas
Karena kami menggunakan tabung kuarsa yang bebas ozon, maka garis emisi 185nm tidak akan muncul. Hal ini akan mencegah adanya gas O3 di dalam ruang bersih tersebut, yang sangat penting bagi setiap ruang bersih yang berkualitas. Namun, ada satu masalah: ketika lampu tersebut dipasangkan dengan reflektor berlapis emas, kepadatan panasnya akan meningkat secara signifikan. Anda perlu memperhatikan sistem pendinginan Anda. Jika aliran udara tidak sesuai dengan kondisi ini, maka soket lampu atau kerangka lampu bisa rusak. Ini merupakan kesalahan yang umum terjadi, tetapi memiliki konsekuensi yang mahal.
Penggunaan dalam praktik
Yang penting adalah jarak antara lampu dan wafer. Semakin dekat lampu dengan wafer, semakin sedikit panas yang tersebar. Jika Anda mengganti sistem aluminium lama dengan sistem berlapis emas, Anda akan segera merasakan perbedaannya. Wafer akan mencapai suhu targetnya lebih cepat. Artinya, waktu prosesnya berkurang, dan kapasitas produksi meningkat.
Satu hal yang perlu diperhatikan: pastikan reflektor tersebut tetap bersih. Sebuah sidik jari atau noda minyak kecil di permukaan emas dapat menyebabkan adanya titik dingin. Hal ini akan merusak keseragaman suhu di wafer. Perlakukan reflektor tersebut dengan hati-hati, agar mereka dapat berfungsi dengan baik.