Cara Mengeringkan Wafer dengan Benar (Tanpa Debu)
Jika Anda pernah bekerja di bidang pembuatan sensor MEMS, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya situasi ketika ada sedikit sekali debu yang menempel pada wafer, sehingga seluruh wafer tersebut menjadi tidak bisa digunakan lagi. Hal ini sangat menyebalkan. Umumnya, penyebabnya adalah elemen pemanas itu sendiri. Elemen pemanas berlapis logam tersebut cenderung mengelupas atau melepaskan gas saat diperlukan untuk tetap bersih.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Lampu ini tidak akan mengelupas, sehingga tidak ada partikel debu yang bisa merusak wafer.
Mengapa Kuarsa Sangat Cocok Digunakan
Kualitas kuarsa yang tinggi membuatnya mampu bertahan terhadap tekanan termal yang ekstrem. Radiasi inframerah dapat langsung masuk ke permukaan wafer. Dengan demikian, kita tidak perlu bergantung pada udara panas untuk menghilangkan kelembapan—hal ini bagus, karena udara merupakan sarana penyebaran debu.
Kami juga menggunakan sistem siklus halogen di dalam tabung lampu. Sistem ini mencegah filamen dari tabung lampu agar tidak menguap, sehingga bagian dalam tabung tetap jernih dan lampu bisa bertahan lebih lama. Dengan demikian, suhu yang dihasilkan akan stabil dan konsisten di seluruh permukaan wafer.
Beberapa Hal yang Perlu Diperhatikan
Lampu-lampu ini memiliki ukuran yang kecil, sehingga mudah dipasang di ruang sempit. Kita juga dapat menyesuaikan panjang dan daya lampu sesuai dengan kebutuhan chamber.
Namun, harap berhati-hati dengan suplai daya. Lampu IR berdaya tinggi membutuhkan arus listrik yang besar. Jika Anda menggunakan banyak lampu sekaligus, pastikan panel listrik Anda mampu menangani beban maksimal tersebut. Anda tentu tidak ingin pemutus listrik sering trip setiap kali Anda meningkatkan daya lampu.
Selain itu, gunakan pengontrol PID. Jika suhu melebihi batas yang ditentukan, membran tipis MEMS bisa rusak, dan kerusakan ini tidak dapat diperbaiki.
Penerapan di Dunia Nyata
Pada akhirnya, yang kita inginkan hanyalah permukaan wafer yang kering, cepat kering, dan steril. Lampu-lampu ini memungkinkan hal tersebut terjadi. Karena proses pemanasan berlangsung dengan cepat, wafer tidak perlu berada dalam fase pengeringan terlalu lama. Dengan demikian, jumlah noda air dan sisa kimia yang perlu dikhawatirkan pun berkurang.
Jika Anda ingin mengganti sistem lama dengan lampu-lampu ini, prosesnya cukup mudah. Hanya perlu berhati-hati saat memasangnya. Jangan tekan kaca lampu terlalu keras. Jika ada tekanan mekanis yang berlebihan, tabung lampu bisa pecah saat mengembang akibat panas.