Mempertahankan Kebersihan Ruang Kerja Kelas 100 yang Maksimal
Dalam dunia produksi wafer, sekecil apa pun debu yang ada di sana merupakan masalah serius—debu tersebut bisa merusak seluruh batch chip yang diproduksi. Hal ini tentu sangat mengganggu. Sebagian besar elemen pemanas justru menyebabkan masalah di lingkungan seperti ini, karena elemen-elemen tersebut cenderung mengeluarkan gas atau partikel ketika tidak seharusnya.
Itulah mengapa kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Lampu-lampu ini tidak menyebabkan masalah semacam itu.
Kelebihan penggunaan kuarsa
Kami menggunakan silika yang tahan terhadap panas tanpa menyebabkan kristalisasi. Jika digunakan kaca murahan atau kuarsa berkualitas rendah, tabung lampu akan mulai retak atau berdebu saat dipanaskan dan didinginkan. Hal ini tentu tidak boleh terjadi. Tabung lampu kami tetap halus. Karena radiasi IR langsung mengenai permukaan wafer, maka tidak ada zat kotor yang bisa masuk ke permukaan wafer tersebut.
Penyesuaian dengan peralatan yang digunakan
Peralatan semikonduktor umumnya memiliki ruang yang sempit. Kami memodifikasi bentuk filamen lampu agar panasnya dapat tersebar secara merata ke permukaan wafer. Dengan demikian, tidak akan ada titik panas atau perbedaan suhu yang ekstrem, dan yang paling penting, wafer tidak akan melengkung saat proses pemanasan atau pengeringan berlangsung.
Kami juga sangat memperhatikan segel pada ujung tabung lampu. Kami memastikan bahwa gas halogen tetap berada di dalam lampu, sehingga tidak bocor ke dalam ruang vakum. Namun, segel-segel ini harus dirawat dengan baik. Jika salah satu segel rusak, lampu akan cepat rusak. Ini merupakan kompromi yang harus diterima. Lebih baik lampu rusak lebih cepat daripada membiarkan kebocoran merusak ruang kerja bersih Anda. Oleh karena itu, Anda perlu berhati-hati saat menggunakan lampu-lampu ini. Penyetelan yang tepat sangat penting untuk menghindari tekanan berlebih pada kuarsa.
Cara mengoperasikannya
Menghubungkan lampu-lampu ini ke kontroler PID yang sudah ada sangatlah mudah. Karena kuarsa tidak mampu menahan panas dalam waktu lama, lampu-lampu ini akan cepat panas dan segera dingin. Hal ini memberikan kontrol yang lebih baik atas suhu wafer.
Ketika lampu mencapai batas maksimumnya, Anda hanya perlu menggantinya saja. Proses penggantian ini sangat sederhana. Sebagai tips untuk teknisi: gunakan kain bersih dan cairan IPA untuk membersihkan tabung lampu sebelum dipasang kembali. Pastikan tabung lampu tetap bersih, agar semuanya berjalan lancar.