
Réduire les émissions de carbone dans les salles propres : pourquoi le chauffage par rayonnement infrarouge est efficace
Soyons honnêtes : les cycles de rinçage des semi-conducteurs consomment beaucoup d’énergie. Pendant longtemps, nous avons accepté que le seul moyen de sécher une puce soit de chauffer de grandes quantités d’air. Mais c’est là une perte d’énergie considérable, juste pour enlever quelques gouttes d’eau de la surface de la puce.
Nous avons trouvé une solution meilleure : des lampes à rayonnement infrarouge étanches.
Arrêtez de chauffer l’air
Les lampes infrarouges ne se soucient pas de l’air présent dans la pièce. Elles n’en ont pas besoin. Au lieu de cela, elles dirigeent leur énergie directement sur la surface de la puce. C’est une manière bien plus efficace de travailler. Vous n’avez pas besoin de dépenser des kilowatts pour chauffer toute la pièce ; vous ciblez simplement la zone à chauffer. En concentrant ainsi la chaleur, vous réduisez la consommation d’énergie. Si vous voulez créer une « usine verte », c’est l’un des moyens les plus simples de réduire votre empreinte carbone.
Conçues pour les environnements humides
En général, installer des lampes à haute température dans les stations de rinçage est une mauvaise idée. Une forte humidité et des éclaboussures de liquide peuvent endommager les tubes en quartz ou provoquer des courts-circuits. Nous avons résolu ce problème en utilisant des revêtements étanches et des capuchons résistants à l’humidité pour protéger les électrodes. Ainsi, la lampe peut fonctionner même dans un environnement humide, sans s’endommager toutes les semaines.
Les avantages et les inconvénients
Ce n’est pas une solution magique. Le passage à des lampes à intense rayonnement infrarouge signifie que vous devez renforcer votre système de refroidissement. Comme la chaleur est très concentrée, la puce sèche extrêmement rapidement. Mais cette chaleur localisée peut endommager les capteurs ou les pièces en plastique voisines. Il vous faudra donc probablement améliorer vos ventilateurs de refroidissement pour maintenir une température stable. C’est un petit ajustement, mais nécessaire.
Les avantages pour votre processus de production
Le résultat ? Les temps de traitement diminuent. Lorsque les puces sèchent plus rapidement, vous pouvez en traiter davantage par unité de temps. Vous consommez moins d’électricité et les processez en moins de temps. C’est ainsi que l’empreinte carbone par puce commence à baisser. Il suffit de connecter ces lampes à un contrôleur PID pour maintenir la température sous contrôle. Simple.