ফ্যাব ফ্লোরে, স্ট্রিপ চেম্বারটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রা অর্জন না হওয়া পর্যন্ত নিষ্ক্রিয় অবস্থায় থাকে। যদি সাপোর্ট হিটারটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে...

On the litho floor, a soft bake that drifts even 0.2°C is enough to shove critical dimension bias and puff up line-edge roughness—and suddenly...