ফ্যাব ফ্লোরে, স্ট্রিপ চেম্বারটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রা অর্জন না হওয়া পর্যন্ত নিষ্ক্রিয় অবস্থায় থাকে। যদি সাপোর্ট হিটারটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে অবশিষ্টাংশ থেকে যায়; ফলে পরবর্তী কোটটি ঠিকমতো লাগে না। প্রতিবার বেকিং করার সময় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং সাপোর্ট হিটারটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) কোয়ার্টজ এমিটারগুলো ব্যবহার করে তৈরি করেছি। এগুলো দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়; ফলে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়। এটি ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে পারে; ফলে সমগ্র ক্যাসেটজুড়ে বেকিং প্রক্রিয়াটি ঠিকমতো চলে। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এ কাজ করে; আমরা ইন-সিটু মনিটরিং দিয়ে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হচ্ছে কিনা তা নিশ্চিত করি। এটি 24/7 কাজ করতে পারে; 5,000+ ঘন্টা কাজ করার পরও এর কার্যকারিতা 5% এর কম হয় না। এর ইনপুট ভোল্টেজ 208–240 ভোল্ট; এটি ছোট আকারের হওয়ায় রিটোফিটিংয়েও ব্যবহার করা যায়। এছাড়া এতে স্ট্যান্ডার্ড কোয়ার্টজ-টু-চেম্বার ইন্টারফেস রয়েছে।
প্রক্রিয়াটি কোথায় ঘটে সেখানে এটি কেন গুরুত্বপূর্ণ?
ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং প্রক্রিয়াটি মূলত তাপ-নির্ভর। যখন হিটারটি দ্রুত স্থিতিশীল হয়, তখন স্ট্রিপিং প্রক্রিয়ার মধ্যে অপেক্ষার সময় কমে যায়; আর অপর্যাপ্ত/অতিরিক্ত বেকিংয়ের কারণে ওয়েফারগুলো নষ্ট হওয়ার ঝুঁকিও কমে যায়। নিয়ন্ত্রিত তাপমাত্রা লিথোগ্রাফির পরও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো নিয়ন্ত্রণে রাখে; ফলে কম রাসায়নিক ব্যবহার করতে হয়। এর ফলে সাইকেল টাইম কমে যায়, পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়; আর কম সময়ে কাজ সম্পন্ন হওয়ায় শক্তি সাশ্রয় হয়।
ইনস্টলেশনের সময় কী লক্ষ্য করা উচিত?
নিশ্চিত করুন যে চেম্বারের ফ্ল্যাঞ্জগুলো ঠিকমতো মেলে, আর এমিটারগুলো ওয়েফারের পথের সাপেক্ষে সঠিকভাবে অবস্থিত। SWIR দ্রুত উত্তপ্ত হয়; কিন্তু সেই উত্তপ্ত অঞ্চলটিকে সঠিকভাবে সুরক্ষিত রাখা দরকার, যাতে পলিমার সিলগুলো নষ্ট না হয়। রেসিপি পরিবর্তন করার সময় সংক্ষিপ্ত ক্যালিব্রেশন করুন; আর কণা গণনার পদ্ধতি অনুযায়ী ক্লিনরুমের উপযোগিতা নিশ্চিত করুন। ইন্টিগ্রেশন সংক্রান্ত ঝুঁকি এড়াতে আমরা আগেই ইন্টারফেসের ড্রয়িংগুলো পাঠিয়ে দিই।