লাইনে, যখন BCB স্তরের থার্মাল প্রোফাইল ড্রিফট করে, তখন তা হঠাৎ থামেনা। বরং ধীরগতিতে উৎপাদন হ্রাস ঘটে—অবশিষ্ট চাপ এবং আবদ্ধতা যা ঘণ্টাখানেক পর পরীক্ষায় প্রকাশ পায়। আমরা BCB কারিং ল্যাম্পটি তৈরি করেছি সেই ড্রিফট মূল থেকে বন্ধ করার জন্য। লিথোগ্রাফি, প্যাকেজিং, এবং ক্লিনিং-এ তাপমাত্রা অনুমান নয়। এটি একটি প্রক্রিয়াগত ভেরিয়েবল যা আপনাকে নিয়ন্ত্রণ করতে হয়।
হুডের নিচে যা গুরুত্বপূর্ণ
ল্যাম্পটি একটি হ্যালোজেন/কোয়ার্টজ শর্ট-ওয়েভ এমিটারকে ইঞ্জিনিয়ারকৃত রিফ্লেক্টরের সাথে জোড়া দিয়ে BCB স্ট্যাককে শক্তিশালী এবং সঠিক দিক থেকে শক্তি প্রয়োগ করে। সক্রিয় জোন জুড়ে, ওয়েফার-লেভেল ইউনিফর্মিটি ±0.1°C ধরে রাখা হয়, এবং রান-টু-রান রিপিটেবিলিটি ট্রেসযোগ্য। ল্যাম্প হেড ক্লিনরুম-সাপোর্টেড, ক্লাস 1–100 এর জন্য উপযোগী, এমন উপাদান ও ফিনিশ ব্যবহার করা হয়েছে যা কণার উৎপত্তি শূন্যে রাখে। আউটপুট ৫,০০০+ ঘন্টার জন্য স্থিতিশীল থাকে, ইনটেনসিটি ড্রিফট ৫% এর নিচে থাকে, এবং প্রথম লট থেকে একশোতম লট পর্যন্ত থার্মাল প্রোফাইল পুনরাবৃত্তি হয়।
যেখানে এটি প্রমাণ করে তার কার্যক্ষমতা
ওয়েট ক্লিনের পর ওয়েফার শুকানোর জন্য, ফোটোরেসিস্ট সফট বেক ও হার্ড বেকের জন্য, প্যাকেজিং আন্ডারফিল ও এনক্যাপসুলেট কারিংয়ের জন্য, এবং সেই চূড়ান্ত রিন্স-এন্ড-ড্রাই যেখানে সারফেস টেনশন সম্পূর্ণ পরিষ্কার করতে হয়, এটি ব্যবহার করুন। দ্রুত র্যাম্প সাইকেল টাইম কমায় তাপীয় বাজেট ক্ষতিগ্রস্থ না করে, এবং ঘনিষ্ঠ ইউনিফর্মিটি ফিল্ম স্ট্রেস ও প্যাটার্ন বিকৃতি নিয়ন্ত্রণে রাখে। একই আউটপুটের ক্ষেত্রে এটি কনভেকশন ওভেনে থেকে কম শক্তি ব্যবহার করে, এবং ল্যাম্প হেড দ্রুত পরিবর্তনযোগ্য—কম অনাকাঙ্ক্ষিত ডাউনটাইম।
আপনার কাজে লাগবে এমন ক্ষেত্রের নোট
ল্যাম্প অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্টের ব্যাপারে সংবেদনশীল—এমিটার থেকে সাবস্ট্রেট গ্যাপ নির্দিষ্ট ও পুনরাবৃত্তিযোগ্য রাখতে হবে স্পেসিফিকেশন ধরে রাখার জন্য। চেম্বারকে ড্রাই এয়ার বা নাইট্রোজেন দিয়ে পিউর্জ রাখুন যাতে কোয়ার্টজ এনভেলপ অক্সিডাইজ না হয়। ল্যাম্প হেড পরিবর্তনের পর এটি ১৫ সেকেন্ডের মধ্যে স্থিতিশীল হয়। বিদ্যমান ট্র্যাক বা কোটার লাইনে ইনস্টল করার আগে রেটিকল ও চাকের সামঞ্জস্য দ্বিগুণ যাচাই করুন।