红外线与对流炉片干燥比较

观察晶圆从最后一次冲洗中取出。如果干燥步骤未达到热预算，您仍会出现微小积水——下一层光刻胶将对此产生影响。边缘珠现象会出现。关键尺寸漂移。突然间，这批次就面临报废的风险。 因此，干燥不仅仅是快速的问题。它还涉及在整个表面上均匀、干净地传递热量。 底层关键因素 红外干燥直接用短波或中波能量加热水——...