Trong phòng xử lý, buồng xử lý sẽ ở trạng thái chờ cho đến khi đạt được nhiệt độ cần thiết. Nếu bộ sưởi hỗ trợ hoạt động không ổn định, sẽ có chất cặn tồn lại, và lớp phủ tiếp theo sẽ không dính vào bề mặt wafer như mong muốn. Do đó, cần có hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác, để duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình xử lý.
Điều quan trọng thực sự là gì? Chúng tôi chế tạo bộ sưởi hỗ trợ việc loại bỏ lớp phim bảo vệ bằng các bộ phát tia hồng ngoại tần số thấp. Những bộ phát này phản ứng nhanh, giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Độ chính xác về nhiệt độ đạt mức ±0,1°C, giúp đảm bảo rằng quy trình xử lý diễn ra đúng tiêu chuẩn trên toàn bộ bề mặt wafer. Thiết bị này có thể hoạt động trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100, và chúng tôi kiểm tra xem có sự xuất hiện của hạt bụi hay không thông qua việc giám sát tại chỗ. Trong quá trình sử dụng, thiết bị này hoạt động 24/7, với tuổi thọ lên đến 5.000 giờ, và độ lệch nhiệt độ dưới 5%. Thiết bị hoạt động ở nguồn điện 208–240 V, có kích thước nhỏ gọn, phù hợp để lắp đặt thay thế, và có giao diện kết nối tiêu chuẩn từ thạch anh sang buồng xử lý.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình xử lý? Việc loại bỏ lớp phim bảo vệ là một quá trình liên quan trực tiếp đến nhiệt độ. Khi bộ sưởi hoạt động ổn định, thời gian chờ giữa các lần xử lý sẽ được rút ngắn, và việc loại bỏ các wafer bị chưa xử lý kỹ hoặc bị xử lý quá mức cũng sẽ giảm đi. Độ chính xác về nhiệt độ giúp kiểm soát chính xác các kích thước quan trọng sau quy trình in ấn, đồng thời giúp đảm bảo rằng các lớp phủ được tạo ra đồng đều. Điều này giúp giảm lượng hóa chất sử dụng. Kết quả là thời gian xử lý được rút ngắn, ít phải làm lại sản phẩm hơn, và tiết kiệm năng lượng.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Hãy đảm bảo rằng các chi tiết kết nối của buồng xử lý phù hợp với nhau, và vị trí của các bộ phát nhiệt phải chính xác so với đường đi của wafer. Bộ phát tia hồng ngoại tần số thấp hoạt động nhanh, nhưng vùng nóng do bộ phát tạo ra cần được bảo vệ cẩn thận để tránh làm hỏng các lớp keo bảo vệ. Khi thay đổi công thức xử lý, hãy tiến hành calibrat lại thiết bị, và kiểm tra xem thiết bị có tương thích với môi trường phòng sạch hay không. Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kết nối trước để tránh rủi ro trong quá trình lắp đặt.