Trên bề mặt vi phẳng, chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ khoảng nửa độ trong quá trình nung TARC/BARC thôi cũng đủ để gây ra những sai lệch về kích...

Trên sàn litho, một quá trình soft bake chỉ lệch 0.2°C cũng đủ gây sai lệch kích thước quan trọng và làm tăng độ nhám mép dòng—và ngay lập tức bạn sẽ...