Giữ cho phòng sạch đạt chuẩn 100%
Trong môi trường sản xuất wafer, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây hại nghiêm trọng – nó có thể làm hỏng cả một lô chip. Điều này thật khó chịu. Hầu hết các bộ phận tạo nhiệt trong môi trường này đều gây ra nhiều vấn đề, vì chúng dễ giải phóng khí hoặc tạo ra các hạt bụi ngay khi không cần thiết.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại đèn này không gây ra những vấn đề như vậy.
Ưu điểm của thạch anh
Chúng tôi sử dụng silic nung chảy, vốn có khả năng chịu nhiệt mà không bị kết tinh. Nếu sử dụng thủy tinh rẻ tiền hoặc thạch anh chất lượng thấp, các ống đèn sẽ bị nứt hoặc tạo thành bụi khi nóng lên và nguội xuống. Điều này là không thể chấp nhận được.
Các ống đèn của chúng tôi vẫn giữ được bề mặt mịn. Vì bức xạ hồng ngoại tác động trực tiếp lên bề mặt wafer, nên không có yếu tố trung gian nào có thể mang theo tạp chất lên bề mặt wafer.
Lắp đặt vào các thiết bị
Các thiết bị dùng trong ngành bán dẫn thường có không gian hạn chế. Chúng tôi đã điều chỉnh hình dạng của sợi dây tóc để đảm bảo nhiệt được phân bố đều lên bề mặt wafer. Không có điểm nóng, không có sự chênh lệch nhiệt độ, và quan trọng nhất là wafer không bị biến dạng trong quá trình nung hoặc xử lý.
Chúng tôi cũng rất chú trọng đến việc đảm bảo độ kín của các chi tiết đóng kín. Chúng tôi đảm bảo rằng khí halogen bên trong đèn vẫn ở bên trong đèn, không lọt ra ngoài môi trường chân không.
Tuy nhiên, những chi tiết đóng kín này rất kín. Nếu chúng bị hỏng, đèn sẽ nhanh chóng bị hỏng. Đó là một sự đánh đổi. Chúng tôi thà để đèn hỏng nhanh còn hơn là để rò rỉ khí làm hỏng phòng sạch. Vì vậy, bạn cần phải cẩn thận khi sử dụng chúng. Việc căn chỉnh chính xác là yếu tố quan trọng để tránh gây áp lực quá lớn lên thạch anh.
Vận hành đèn
Việc kết nối những chiếc đèn này với các bộ điều khiển PID hiện có khá đơn giản. Vì thạch anh không giữ nhiệt được lâu, nên đèn sẽ nhanh chóng nóng lên và nguội xuống. Điều này giúp bạn kiểm soát tốt hơn nhiệt độ của wafer.
Khi đèn đạt đến giới hạn hoạt động, bạn chỉ cần thay thế nó. Việc thay thế khá đơn giản. Lưu ý: hãy dùng khăn lau sạch các bộ phận của đèn trước khi lắp vào. Hãy giữ cho đèn luôn sạch sẽ để đảm bảo hiệu suất hoạt động tốt nhất.