فیب فلور پر، سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے دوران حرارتی تغیرات ایسے عوامل ہیں جن کی وجہ سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات غیرمستقل ہو جاتی ہیں۔ صرف 2°C کا فرق بھی کریٹیکل ڈائمینشن کنٹرول کو ختم کر سکتا ہے؛ اس کے نتیجے میں ایچنگ عمل متأثر ہو جاتا ہے۔ ہم نے ویکو MOCVD ہیٹر لیمپ کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے تاکہ اس غیریقینی صورتحال کو دور کیا جا سکے۔
لیمپ کے اندر کیا چیزیں اہم ہیں؟
لیمپ میں کوارٹز کے خول کے اندر شارٹ-ویو NIR ہیلوجن عناصر استعمال کئے گئے ہیں، جس کی وجہ سے تیز رفتاری سے حرارت پیدا ہوتی ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C تک رہتی ہے۔ یہ لیمپ پورے فوٹوریزسٹ بیک عمل کے دوران مستحکم درجہ حرارت برقرار رکھتا ہے – سافٹ بیک کے دوران تحلیل کرنے والے مواد کو نکالنے کے لئے، اور ہارڈ بیک کے دوران چپس کو مضبوط کرنے کے لئے… بغیر حرارتی حدود سے تجاوز کیے۔
کلین روم کلاس 1–100 کے لئے، یہ ڈیزائن کم گیس خارج ہونے اور کوئی ذرات پیدا نہ ہونے کو یقینی بناتا ہے۔ یہ 24/7 قابل اعتماد رہتا ہے؛ فیلڈ یونٹس 5,000 سے زیادہ گھنٹے کام کر چکے ہیں، اور پھر بھی آؤٹ پٹ میں 5% سے کم تغیر ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں، یہ لیمپ ہاٹ پلیٹ کے علاقے کے درجہ حرارت کو یکساں کرتا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات مطلوبہ معیار کے مطابق رہیں۔ اس سے مختلف بیچوں میں یکسانیت برقرار رہتی ہے، جس کی وجہ سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور فضلہ بھی کم ہو جاتا ہے۔
تیز رفتاری سے درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کی وجہ سے توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے، اور پیشن گوئی کیے جانے والے حرارتی پروفائل کی وجہ سے بیک عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، بغیر فلم کی سالمیت کو خطرے میں ڈالے۔ اس کے نتیجے میں ڈائمینشن کی یکسانیت بہتر ہوتی ہے، ایچنگ کے بعد انٹرفیسز صاف رہتے ہیں، اور پیداواریت بھی بہتر رہتی ہے – خاص طور پر جدید چپس کی تیاری میں۔
کن چیزوں کا خیال رکھنا ضروری ہے؟
لیمپ کی تنصیب بالکل درست طریقے سے کی جانی چاہیے: لیمپ کو سسیپٹر کے ساتھ درست طریقے سے الائن کیا جانا چاہیے، اور کنیکٹر انٹرفیس بھی درست ہونے چاہئیں، تاکہ حرارتی منتقلی مستحکم رہے اور سیفٹی سسٹم بھی درست طریقے سے کام کرے۔
لیمپ کو اس کے مخصوص وولٹیج اور کولنگ سسٹم کے دائرہ کے اندر ہی رکھنا ضروری ہے۔ اگر حرارتی بوجھ زیادہ ہو جائے، تو لیمپ کی عمر کم ہو جاتی ہے۔ اور پیشگیرانہ بدلنے کا منصوبہ بھی ضروری ہے – اس سے ڈیوائس کی کارکردگی برقرار رہتی ہے، اور ذرات کی تعداد بھی مطلوبہ حد میں رہتی ہے۔