فیبرکی فیکٹریوں میں، بائیوسینسر ویفروں کی کارکردگی حرارتی استحکام پر منحصر ہے۔ فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 30 میلی ڈگری سیلسیس کا فرق، لائنوں کی درستگی کو خراب کر سکتا ہے؛ جبکہ شدید گرمی کی وجہ سے ذرات پیدا ہونے سے پروڈکشن کی شرح مکمل طور پر ختم ہو سکتی ہے۔ ہم نے اس غیر یقینی صورتحال کو دور کرنے کے لئے IR لیمپ سسٹم تیار کیا ہے۔
جو چیز واقعی اہم ہے
ہم کوارٹز آپٹکس کے ساتھ شارٹ-ویو NIR ایمیٹر استعمال کرتے ہیں، تاکہ حرارت براہ راست ویفر تک پہنچ سکے – تیزی سے، صاف طریقے سے، اور بغیر کسی غلطی کے۔ اس طرح ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر رہتا ہے، جس کا مطلب یہ ہے کہ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” دونوں عملوں سے ویفر کی ساخت یکساں رہتی ہے۔ یہ آلہ 24/7 کام کرتا رہتا ہے، بغیر کسی غیر منصوبہ بند بندش کے، اور اس میں کوئی ذرات بھی نہیں ہوتے – یہ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہے۔
یہ بائیوسینسر تیاری کے لئے کیوں مناسب ہے
بائیوسینسر تیار کرنے کے لئے پتلی فلمیں اور باریک ساختیں استعمال کی جاتی ہیں، جن پر دباؤ پڑنے سے مشکلات پیدا ہو سکتی ہیں۔ اگر گرم کرنے کا عمل مستحکم نہ ہو، تو فوٹوریزسٹ پگھل سکتا ہے۔ ہمارے لیمپ، گرمی کے درجہ حرارت کو بہت درستگی کے ساتھ کنٹرول کرتے ہیں، تاکہ لیتھوگرافی اور ایچنگ کے عمل میں استحکام برقرار رہے۔ اس طرح CD کی تغیرات کم ہو جاتے ہیں، اور لائنوں کی سطح بھی بہتر ہو جاتی ہے۔ تیز رفتار گرم کرنے کے عمل سے سائیکل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی کارکردگی سے ہر ویفر کی لاگت کم ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں پہلی بار ہی بہتر پروڈکشن حاصل ہوتی ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔
جن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے
لیمپ کی کارکردگی، ایمیٹر اور ویفر کے درمیان کے فاصلے، اور کوارٹز ونڈو کی صفائی پر منحصر ہے۔ اس لئے آلے کے لئے ایک مستقل فوکل گیپ کی ضرورت ہے، اور باقاعدگی سے جانچ بھی ضروری ہے۔ انٹیگریشن سادہ ہے، لیکن حرارتی پروفائل کو خاص فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ بڑے پیمانے پر پروڈکشن شروع کرنے سے پہلے، ایک مختصر ٹیسٹ ضرور کیا جانا چاہیے۔