اپنے کلاس 100 کلین روم کو واقعی صاف رکھنا ضروری ہے۔
ویفر فیکٹریوں میں، ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ بھی مشکلات کا سبب بن سکتا ہے؛ یہ تو پورے چپس کے بیچ کے لئے موت کا سبب بن سکتا ہے۔ ایسے ماحول میں، زیادہ تر حرارت پیدا کرنے والے عناصر مشکلات کا سبب بنتے ہیں، کیوں کہ وہ اس وقت ہی گیسیں خارج کرنے لگتے ہیں جب ایسا نہیں ہونا چاہئے۔
اسی لئے ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز IR لیمپ استعمال کرتے ہیں۔ یہ لیمپ ایسی مشکلات پیدا نہیں کرتے۔
کوارٹز کا استعمال
ہم فیوژڈ سیلیکا کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ گرمی کو بغیر کرسٹل بنے ہی برداشت کر سکتا ہے۔ اگر سستا شیشہ یا کم معیار کا کوارٹز استعمال کیا جائے، تو ٹیوبیں گرم ہونے اور ٹھنڈا ہونے کے دوران ٹوٹنے لگتی ہیں۔ ایسا ہرگز نہیں ہونا چاہئے۔
ہماری ٹیوبیں ہمیشہ ہموار رہتی ہیں۔ چوںکہ IR شعاعیں براہ راست سبسٹریٹ پر پڑتی ہیں، اس لئے کوئی درمیانی عنصر موجود نہیں ہے جو غیرخالص مواد کو ویفر کی سطح پر پہنچا سکے۔
آلات میں ان کا استعمال
سیمی کنڈکٹر آلات بہت تنگ جگہوں پر رکھے جاتے ہیں۔ ہمیں اس کا علم ہے۔ اسی لئے ہم نے فلامنٹ کی ساخت کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ حرارت ویفر پر یکساں طور پر پڑے۔ کوئی گرم نقطہ نہیں، کوئی غیرمعمولی تغیر نہیں، اور سب سے اہم بات یہ کہ بیکنگ یا کیورنگ کے دوران کوئی تناؤ نہیں پڑتا۔
ہم اندرونی سیلز کی حفاظت کے لئے بھی بہت محتاط ہیں۔ ہم یقین کرتے ہیں کہ ہیلوجن گیس لیمپ کے اندر ہی رہے، اور ویکیوم میں نہ جائے۔
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ یہ سیلز بہت مضبوط ہیں۔ اگر ایک سیل خراب ہو جائے، تو لیمپ جلد ہی خراب ہو جاتا ہے۔ یہ ایک توازن کی بات ہے۔ ہم تو یہی چاہتے ہیں کہ لیمپ جلد ہی خراب ہو جائے، بجائے اس کے کہ کوئی لیکیج ہوکر کلین روم کو خراب کر دے۔ اس لئے ان کے ساتھ بہت احتیاط کرنی ضروری ہے۔ درست الائنمنٹ بہت اہم ہے، تاکہ کوارٹز پر زیادہ دباؤ نہ پڑے۔
ان کو چلانا
ان لیمپوں کو موجودہ PID کنٹرولرز میں منسلک کرنا بہت آسان ہے۔ چوںکہ کوارٹز گرمی کو زیادہ دیر تک برداشت نہیں کر سکتا، اس لئے یہ لیمپ فوراً گرم ہو جاتے ہیں اور فوراً ٹھنڈے بھی ہو جاتے ہیں۔ اس سے ویفر کے درجہ حرارت پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے۔
جب لیمپ اپنی حد تک پہنچ جاتا ہے، تو اسے فوراً بدل دیا جاتا ہے۔ یہ بہت آسان عمل ہے۔ تکنیشنوں کے لئے ایک مشورہ: لیمپ کو استعمال کرنے سے پہلے اسے صاف کرنے کے لئے لنٹ-فری وائپس اور IPA کا استعمال کریں۔ اگر یہ صاف رہے، تو سب کچھ ٹھیک رہے گا۔