Yarı iletkenlerin kurutulmasında kullanılan UHP kızılötesi lambalar hakkında konuşalım. Eğer wafer işleme veya fotoresist fırınlaması konularıyla ilgileniyorsanız, ısıtma lambalarının aslında tüm işlemin kalbi olduğunu biliyorsunuzdur. Son zamanlarda “yeşil” ve “kurşunsuz” standartlara doğru büyük bir eğilim var. Ama dürüst olmak gerekirse bu sadece bir pazarlama taktiği değil; zararlı uçucu organik bileşiklerden kurtulmak ve eski tip konveksiyon fırınlarının neden olduğu enerji israfını ortadan kaldırmak içindir.
Isının nasıl çalıştığı Bir konveksiyon fırını düşünün. Isı, malzemeye ulaşmadan önce devasa bir hava kümesini ısıtmak için çok fazla zaman ve enerji harcar. UHP kızılötesi lambalar ise farklı bir şekilde çalışır. Elektromanyetik radyasyon kullanarak fotonları doğrudan malzemeye gönderirler. Lambadan hedefe olan yol tamamen düz bir çizgidir. Ne enerji israfı vardır, ne de tüm oda ısınır; sadece hızlı ve doğrudan enerji aktarımı sağlanır.
Kirlenmeyle mücadele Temiz odalarda bile en ufak bir toz parçası veya yabancı molekül felaket getirebilir. Bu durum, bir parti waferin tamamen bozulmasına neden olabilir. İşte bu yüzden UHP lambalar kullanılır. Yüksek kaliteli sentetik kuvars ve özel filamlar kullanılarak üretilirler; böylece metalik safsızlıkların işlem sürecine karışması engellenir. Ayrıca çok hızlı tepki verirler. Sıcaklığı saniyeler içinde artırabilir veya azaltabilirsiniz. Artık makinenin “ısınmasını” beklemek zorunda değilsiniz.
Eksiklikler ve bunların nasıl üstesinden gelinir Ancak yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışınlar ciddi bir baskı yaratır. Bu ısı yoğunluğu, parçaların daha hızlı işlenmesini sağlar, ancak soğutma sistemine büyük bir yük bindirir. Eğer ısı değiştiriciler yeterli değilse, lambanın bulunduğu bölge aşırı derecede ısınır. Böyle bir durumda filamlar beklenenden daha erken yanar. Bu, yönetmeniz gereken bir denge noktasıdır.
Daha iyi bir gezegen için, daha iyi bir bütçe için En iyi yanı ise bu sistem sayesinde işler daha da kolaylaşıyor. Kimyasal çözücülerden vazgeçilip ısıtma ekipmanlarının boyutları küçültülerek, çevresel hedeflere zahmetsizce ulaşılabilir. Kurutma işlemlerinde kurşun içeren lehimlerden vazgeçilir ve enerji israfı da ortadan kalkar. Böylece tesisler daha temiz hale gelir ve faturalarınız da kesinlikle azalır.