ดูการออกของเวเฟอร์จากการล้างขั้นสุดท้าย หากขั้นตอนการอบแห้งไม่ตรงตามงบประมาณทางความร้อน คุณยังจะมีการรวมตัวของน้ำขนาดเล็ก—และชั้นฟิล์มโฟโต้เรซิสถัดไปจะต้องต่อสู้กับมัน ขอบหยดน้ำจะปรากฏขึ้น ขนาดที่สำคัญจะเปลี่ยนไป อย่างกะทันหันล็อตนั้นก็กลายเป็นขยะ
ดังนั้นมันจึงไม่ใช่แค่การอบแห้งให้เร็ว มันเกี่ยวกับการส่งมอบความร้อนไปอย่างสม่ำเสมอและสะอาดทั่วทั้งพื้นผิว
สิ่งที่สำคัญภายใต้การทำงาน
การอบแห้งด้วยอินฟราเรดจะทำให้ความร้อนสัมผัสกับน้ำโดยตรงด้วยพลังงานคลื่นสั้นหรือคลื่นกลาง—การทำให้ร้อนที่รวดเร็วและไม่สัมผัส การอบแห้งด้วยการพาความร้อนใช้กระแสลมร้อน ซึ่งอาจจะทำให้การจัดการกับสแต็กที่ไวต่อความละเอียดง่ายขึ้น แต่จะไวต่อจำนวนอนุภาคในอากาศมากกว่า
มาตรวัดที่แท้จริงคือความสม่ำเสมอทางความร้อนทั่วทั้งเวเฟอร์ โดยทั่วไปแล้ว ±0.1°C ที่จุดตั้งค่าในกระบวนการ อินฟราเรดทำให้คุณไปถึงจุดนั้นได้โดยการแมพโซนหลอดไฟและควบคุมการปล่อยสเปกตรัม การอบแห้งด้วยการพาความร้อนต้องการการกระจายอากาศที่แน่นหนาและการหมุนเวียนที่มีความแม่นยำสูง
ไม่ว่าจะด้วยวิธีใด เครื่องมือจะต้องทำงานภายในข้อจำกัดของห้องสะอาด Class 1–100: การสร้างอนุภาคเป็นศูนย์ และโปรไฟล์อุณหภูมิที่คุณสามารถเชื่อถือได้—ไม่ว่าคุณจะทำการอบเบา อบแข็ง หรืออบแห้งหลังการทำความสะอาด
ทำไมสิ่งนี้ถึงมีความสำคัญ
ในสายการพิมพ์ลิเธอรี การใช้หลอดอินฟราเรดคลื่นสั้นจะทำให้ความร้อนเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็วถึงจุดตั้งค่า ซึ่งหมายถึงเวลาหมุนเวียนที่สั้นและโปรไฟล์การอบฟิล์มโฟโต้เรซิสที่สม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์
ในสายการบรรจุ การใช้หลอดอินฟราเรดคลื่นกลางร่วมกับการพาความร้อนจะทำให้คุณมีการบ่มที่ควบคุมได้โดยไม่ทำให้วัสดุโลว์-เคเกิดความเสียหาย
สำหรับการทำความสะอาดและการอบแห้ง อินฟราเรดจะหลีกเลี่ยงการดึงอากาศเข้ามา ซึ่งช่วยลดการกลับมาของการตกตะกอนและปัญหาขอบหยดน้ำได้ ผลลัพธ์คือผลผลิตที่สูงขึ้น การใช้พลังงานที่ต่ำลง และหน้าต่างกระบวนการที่คงที่
รายละเอียดปฏิบัติที่คุณไม่สามารถมองข้ามได้
การอบแห้งด้วยอินฟราเรดต้องการการจัดตำแหน่งของเส้นสายตาและสะท้อนที่ถูกปรับอย่างถูกต้อง รูปร่างของเวเฟอร์และวัสดุในสแต็กจะเปลี่ยนการดูดซึม ดังนั้นคุณต้องวางแผนสำหรับเรื่องนี้
การอบแห้งด้วยการพาความร้อนต้องการการกรองที่มีคุณภาพ HEPA และการบำรุงรักษาที่เป็นระเบียบเพื่อควบคุมจำนวนอนุภาค
ทั้งสองวิธีต้องการเซนเซอร์อุณหภูมิที่ปรับเทียบแล้วและสูตรที่ได้รับการตรวจสอบ ไม่ใช่การคาดเดา
เราขนาดระบบให้เหมาะสมกับเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ แรงดันไฟฟ้า และพื้นที่ในห้องสะอาดของคุณ เรายังระบุการเชื่อมต่อและระบบล็อคความปลอดภัยเพื่อให้มันเชื่อมต่อเข้ากับสายการผลิตของคุณได้อย่างง่ายดาย