На производственном участке тепловые колебания во время процедур мягкой и жесткой обработки фоторезиста являются фактором, который делает контроль параметров фоторезиста крайне сложным. Даже небольшое отклонение в 2°C может привести к потере контроля над критическими размерами изделий; это, в свою очередь, влияет на качество процесса этичения. Мы разработали нагревательный прибор Veeco MOCVD, чтобы устранить эту неопределенность.
Что действительно важно
В составе прибора используются галогеновые элементы с коротковолновым излучением, расположенные внутри кварцевого корпуса. Это позволяет достигать быстрого локального нагрева с точностью до ±0,1°C. Прибор сохраняет стабильные значения температуры на протяжении всего времени обработки фоторезиста – от мягкой обработки для удаления растворителей до жесткой обработки для укрепления адгезии и устранения паразитных волн. При этом не превышается допустимый тепловой бюджет.
Для чистых комнат класса 1–100 конструкция прибора обеспечивает минимальное количество выделений газов и отсутствие частиц в условиях стабильной работы. Можно рассчитывать на надежную работу прибора 24/7: устройства, используемые в промышленности, уже проработали более 5000 часов с отклонением в пределах 5%.
Почему это полезно в процессе литографии
В литографических установках прибор помогает поддерживать одинаковую температуру на поверхности платы, что позволяет фоторезисту вести себя предсказуемо, без изменений, вызванных тепловыми колебаниями. Это способствует повышению точности производства и снижению количества бракованных изделий.
Быстрое достижение заданной температуры позволяет сохранять оптимальное потребление энергии. Прогнозируемая тепловая характеристика позволяет сократить время обработки, не ставя под угрозу качество фоторезиста. В результате получается более высокая точность размеров изделий, более качественные границы после этичения и стабильная производительность – особенно на современных техпроцессах.
Что необходимо учитывать при установке
Установка должна быть выполнена с максимальной точностью: прибор необходимо правильно выровнять относительно поверхности, на которой он будет работать, а также соответствующим образом подключить его к системе охлаждения. Это обеспечит надежную тепловую связь и правильную работу защитных механизмов.
Необходимо также соблюдать указанные параметры напряжения и охлаждения. Если превысить допустимые значения, сократится срок службы прибора. Также рекомендуется планировать профилактическую замену прибора в соответствии с расписанием ТО. Это позволит сохранить надежность работы прибора и поддерживать нужный уровень чистоты в производственной среде.