На производственной площадке критическое значение имеет стабильность температуры при обработке биосенсорных пластин. Изменение температуры на 30 м°C во время процесса высушивания фотополимера может нарушить точность контроля толщины линий на поверхности пластины. Кроме того, появление частиц в результате интенсивной обработки может полностью снизить производительность. Мы разработали систему инфракрасных ламп, чтобы устранить эту проблему.
Что действительно важно
Мы используем эмиттеры коротковолнового инфракрасного излучения с кварцевыми элементами оптики. Благодаря этому тепло передается непосредственно на поверхность пластины – быстро, чисто и без избыточного нагрева. В результате достигается однородность температуры на всей активной поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Это позволяет использовать одинаковые параметры обработки для всех партий продукции. Устройство работает круглосуточно без простоев, а также не создает частиц – что делает его полностью соответствующим требованиям чистых помещений класса 1–100.
Почему это подходит для производства биосенсоров
При производстве биосенсоров создаются тонкие слои материалов и мелкие структуры, которые легко подвержены стрессу. Если температура при обработке не будет стабильной, фотополимер может потерять свои свойства. Наши лампы обеспечивают высокую стабильность температуры, что позволяет сохранять константные параметры литографии и этchingа. Это снижает изменчивость размеров элементов и улучшает качество поверхности пластины. Быстрый нагрев сокращает время обработки, при этом контроль над процессом сохраняется. Высокая энергоэффективность снижает стоимость производства одной пластины. Результатом является более высокая производительность при первой же попытке производства и меньшее количество необходимых корректировок.
На что нужно обращать внимание
Мощность ламп зависит от расстояния между эмиттером и пластиной, а также от степени чистоты кварцевого окна. Поэтому устройство требует фиксированного расстояния фокусировки и регулярной предупредительной проверки. Интеграция устройства в производственный процесс происходит легко, но температурный профиль должен соответствовать спецификам используемого фотополимера и материала основы. Перед началом массового производства необходимо провести тестирование для определения оптимальных параметров работы устройства.