На производственной площадке камера для удаления фотополимера остается неактивной, пока температура в ней не достигнет необходимого уровня. Если нагревательный элемент начинает работать некорректно, на поверхности остаются остатки материала, из-за чего следующий слой не прилипает должным образом. Необходим контроль температуры, чтобы она всегда сохранялась на заданном уровне, как при каждой обработке, так и для каждой партии продукции.
Что действительно важно Мы использовали в качестве нагревательных элементов кварцевые излучатели длинноволнового инфракрасного излучения. Они реагируют быстро, что позволяет точно контролировать температуру. Устройство обеспечивает однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей площади пластины. Благодаря этому процессы обработки проходят корректно во всей камере. Устройство может использоваться в помещениях класса чистоты 1–100. Мы также проверяем отсутствие частиц с помощью специальных датчиков. Устройство может работать круглосуточно – его срок службы превышает 5 000 часов, а отклонение температуры составляет менее 5%. Рабочее напряжение – 208–240 В; устройство имеет компактные размеры, что позволяет использовать его при модернизации оборудования. Также имеются стандартные интерфейсы для соединения с камерой.
Почему это важно Процесс удаления фотополимера в основном зависит от температуры. Когда нагревательный элемент быстро стабилизируется, сокращается время простоя между процедурами обработки, а также уменьшается количество бракованных пластин. Высокая однородность температуры обеспечивает точный контроль размеров после литографии, что позволяет использовать меньше химикатов. Это приводит к сокращению времени обработки, уменьшению количества переработанных изделий и экономии энергии.
На что нужно обратить внимание при установке Убедитесь, что фланцы камеры соответствуют друг другу, а также что излучатели расположены правильно относительно пути движения пластины. Кварцевые излучатели нагреваются быстро, поэтому необходимо обеспечить правильную защиту от избыточного тепла, чтобы не повредить полимерные уплотнители. При смене рецептуры обработки необходимо провести калибровку, а также проверить совместимость устройства с условиями в помещении с определенным уровнем чистоты. Мы заранее отправляем чертежи интерфейсов, чтобы избежать проблем при интеграции устройства в систему.