Как сохранить чистоту в помещении класса 100
В производстве полупроводниковых чипов даже одна пыинка является серьезной проблемой — она может разрушить целую партию чипов. Это очень тревожно. Большинство нагревательных элементов в таких условиях представляют собой настоящую проблему: они начинают выделять газы или оседать в виде частиц именно тогда, когда этого совсем не нужно.
Поэтому мы используем ИК-лампы из высокочистого синтетического кварца. Они не имеют таких проблем.
Преимущества кварца
Мы используем спектированный кремний, который может выдерживать высокие температуры без кристаллизации. Если использовать дешевое стекло или некачественный кварц, трубки начинают трескаться или покрываться пылью при нагревании и охлаждении. Это недопустимо.
Наши трубки сохраняют свою гладкость. Поскольку инфракрасное излучение падает напрямую на поверхность чипа, нет никаких посредников, которые могли бы пронести примеси на поверхность чипа.
Интеграция в оборудование
Оборудование для производства полупроводников имеет ограниченное пространство. Мы знаем это. Поэтому мы скорректировали форму нити нагревателя, чтобы тепло равномерно распределялось по поверхности чипа. Нет горячих точек, нет странных перепадов температур, и, что самое важное, нет деформаций чипа во время обработки.
Мы также уделяем особое внимание уплотнениям концов ламп. Мы стараемся, чтобы галогеновый газ оставался внутри лампы, а не попадал в вакуумную среду.
Но есть один недостаток: эти уплотнения очень надежны. Если одно из них выйдет из строя, лампа быстро выйдет из строя. Это компромисс. Мы предпочитаем, чтобы лампа быстро вышла из строя, чем чтобы утечка привела к порче чистого помещения. Поэтому с ними нужно обращаться осторожно. Точная настройка критически важна, чтобы не создавать избыточной нагрузки на кварц.
Установка ламп
Подключение этих ламп к существующим контроллерам PID происходит легко. Поскольку кварц не сохраняет тепло долго, лампы быстро нагреваются и охлаждаются. Это позволяет более точно контролировать температуру на поверхности чипа.
Когда лампа достигает своего предела, ее просто заменяют. Это простая процедура замены. Совет для техников: используйте влажные салфетки и раствор IPA для очистки трубки перед установкой. Если все будет чисто, все будет в порядке.