Oczyszczanie półproduktywnej ciepło za pomocą promieniowania podczerwonego
Bądźmy szczerzy: produkcja półprzewodników to prawdziwy wyzwanie, jeśli chodzi o ciepło. Od dawna polegamy na ogrzewaniu rezystancyjnym, które w istocie polega na próbie podgrzania pojedynczego kawałka tostu poprzez ogrzewanie całej kuchni. To ogromna strata energii. Znaleźliśmy lepsze rozwiązanie. Dzięki użyciu lamp podczerwonych o krótkich falach możemy skierować ciepło dokładnie tam, gdzie jest potrzebne – na płytkę krzemową. Koniec z bezcelowym ogrzewaniem powietrza wokół niej. To prosta zmiana, ale znacząco redukuje ślad węglowy w pomieszczeniach czystych.
Dlaczego krótkofalowe promieniowanie podczerwone naprawdę działa
Oto sekret: krótkofalowe promieniowanie podczerwone (mówimy tu o zakresie od 0,7 do 2,5 μm) nie traci czasu. Natychmiast oddziałuje na materiał i przenika przez niego znacznie szybciej niż długofalowe ciepło, do którego jesteśmy przyzwyczajeni. Proces nagrzewania jest niemal natychmiastowy. A ponieważ chodzi o ciepło promieniowe, nie musisz walczyć z własnym systemem klimatyzacji. Urządzenia chłodzące nie muszą pracować nadgodzinami, aby usunąć nadmiar ciepła z pomieszczenia, co oznacza, że rachunki za prąd spadną w najlepszy możliwy sposób.
Szczegóły techniczne
Tworzymy te urządzenia z pokrywami z kwarcu oraz układami halogenowymi, aby żarniki mogły funkcjonować przez dłuższy czas. Jeśli pracujesz z płytkami o wymiarach 300 mm, wszystko sprowadza się do gęstości mocy. Używamy lamp o dużej mocy, aby proces nagrzewania przebiegał szybko. Ponadto używamy standardowych złączy, więc można łatwo wymienić stare, nieefektywne grzejniki bez konieczności demontowania całego urządzenia. Ale to nie jest magia. Istnieje pewien haczyk. Ponieważ te lampy emitują tak intensywne ciepło, powstaje dużo lokalnego ciepła. Jeśli kontrolery PID działają niewłaściwie lub czujniki są nieco niesprecyzyjne, możesz uszkodzić podłoże, zanim even zdasz sobie z tego sprawę. Musisz też upewnić się, że Twoje urządzenia chłodzące są w stanie sprostać temu zadaniu. Nie chcesz przecież, aby ciepło promieniowe ogrzewało obudowę maszyny.
Podsumowanie dla fabryki
Najlepsze jest to, że przestajesz marnować energię podczas tych niekończących się faz nagrzewania, które występują podczas procesu produkcyjnego. Widzisz natychmiastowy spadek ilości kWh na jednostkę produktu. To sposób na osiągnięcie celów związanych z ochroną środowiska, bez konieczności całkowitej zmiany procesu produkcji. Możesz przetwarzać więcej płytek krzemowych szybciej i z mniejszymi stratami. To jeden z tych rzadkich przypadków, gdy Dyrektor Finansowy i inżynier fabryki faktycznie są zgodni co do podejścia.