Grzałka podtrzymująca do zdejmowania fotopozaprawy
Na linii produkcji komora do usuwania fotorezystu pozostaje nieaktywna, dopóki nie osiągnie odpowiedniej temperatury. Jeśli grzejnik pomocniczy...
Trwały piec do wypalania fotorezystu
Na podłodze litograficznej, miękki wypiek, który przesunie się nawet o 0,2°C, wystarczy, by spowodować przesunięcie krytycznego wymiaru oraz...