Utrzymanie czystej sali klasy 100 naprawdę czystą
W świecie produkcji płytek krzemowych pojedyncza kropla kurzu to nie tylko uciążliwość – to wyrok śmierci dla całej partii układów scalonych. To stresujące. Większość elementów grzewczych jest koszmarem w takich warunkach, ponieważ mają tendencję do uwalniania gazów lub cząsteczek akurat wtedy, gdy tego nie chcesz. Dlatego stosujemy lampy IR z syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. One po prostu nie grają w te gry. Kwestia kwarcu Używamy szkła wytlenionego, które może znosić wysoką temperaturę bez krystalizacji. Jeśli użyjesz taniego szkła lub kwarcu niskiej jakości, rurki zaczynają się łuszczyć lub „zbierać kurz” podczas nagrzewania i ochładzania. Tego nie można dopuścić. Nasze rurki pozostają gładkie. Ponieważ promieniowanie IR pada bezpośrednio na podłoże, nie ma pośrednika, który mógłby przenieść zanieczyszczenia na powierzchnię płytki. Zastosowanie w narzędziach Narzędzia do półprzewodników są ciasne. Wiemy o tym. Dlatego dostosowaliśmy geometrię żarnika, aby ciepło równomiernie docierało do płytki. Żadnych gorących punktów, żadnych dziwnych gradientów, a co najważniejsze – żadnego wyginania się podczas pieczenia lub utwardzania. Jesteśmy również bardzo skrupulatni jeśli chodzi o uszczelki końcowe. Upewniamy się, że gaz halogenowy pozostaje wewnątrz lampy, z dala od próżni. Oto jednak haczyk: te uszczelki są szczelne. Jeśli jedna z nich zawiedzie, lampa szybko się wypala. To kompromis. Wolimy, by lampa szybko przestała działać, niż pozwolić na wyciek, który zniszczy waszą czystą salę. Dlatego trzeba być delikatnym z nimi. Dokładne ustawienie jest kluczowe, aby uniknąć nadmiernego obciążenia kwarcu. Uruchomienie lamp Podłączenie ich do istniejących sterowników PID jest proste. Ponieważ kwarc długo nie utrzymuje ciepła, lampy szybko się nagrzewają i schładzają. Dzięki temu masz znacznie większą kontrolę nad bilansem cieplnym płytki. Gdy lampa w końcu osiągnie swój limit, wystarczy ją wymienić. To prosta zamienna część. Mała uwaga dla techników: weź chusteczki bez włókien i trochę alkoholu izopropylowego, aby wyczyścić rurkę przed jej wmontowaniem. Jeśli zachowasz idealną czystość, wszystko będzie dobrze.