Na linii produkcyjnej jakość biosensorów zależy od precyzji termicznej procesu obróbki. Nawet niewielka różnica temperatury na poziomie 30 °C podczas wysuszania fotorezystu może zakłócić kontrolę szerokości linii. Ponadto powstawanie cząstek podczas intensywnej obróbki może całkowicie zniszczyć jakość produktu. Stworzyliśmy system lamp infraczerwonych, aby eliminować tę niepewność.
Co jest naprawdę istotne
Używamy emiterów krótkofalowego promieniowania NIR z kwarcowymi elementami optycznymi – dzięki temu ciepło jest przekazywane bezpośrednio na płytkę, szybko i efektywnie, bez żadnych problemów. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki w przedziale ±0,1 °C, co oznacza, że procesy łagodnej i intensywnej obróbki zachodzą w tych samych warunkach, partia za partią. Urządzenie może pracować 24/7 bez przerw, a także pozostaje wolne od cząstek – co sprawia, że jest doskonale kompatybilne z warunkami w pomieszczeniach klasy czystości 1–100.
Dlaczego to odpowiada wymaganiom produkcji biosensorów
Podczas produkcji biosensorów tworzone są cienkie warstwy oraz delikatne struktury, które są podatne na uszkodzenia. Fotorezyst może się topić, jeśli proces obróbki nie jest stabilny. Nasze lampy zapewniają precyzyjną kontrolę temperatury, dzięki czemu parametry litografii i etchingu pozostają stałe. Zmiany w szerokości linii zmniejszają się, a chropowatość krawędzi linii jest lepsza. Szybkie dostosowanie temperatury skraca czas cyklu, a efektywność energetyczna obniża koszt per płytka. Wynikiem jest wyższa jakość produktu przy pierwszej próbie produkcji oraz mniej konieczności ponownej obróbki.
Na co należy zwrócić uwagę
Moc lampy zależy od odległości pomiędzy emiterem a płytką oraz od tego, jak czyste jest kwarcowe okno. Dlatego urządzenie wymaga ustalonej odległości focjalnej oraz regularnych badań zapobiegawczych. Integracja urządzenia jest prosta, ale profil termiczny musi być dostosowany do specyfiki fotorezystu i podłoża. Przed rozpoczęciem masowej produkcji należy przeprowadzić krótkie testy, aby ustalić optymalne warunki obróbki.