Meer warmte op je wafers krijgen (zonder verspilling)
Wanneer je werkt met halfgeleiderwafers, is chemische vervuiling een nachtmerrie. Daarom gebruiken we infraroodlampen zonder ozon. Maar hier ligt het echte probleem: het gaat niet om hoeveel warmte je kunt genereren – het gaat erom hoeveel van die energie daadwerkelijk op de wafer terechtkomt, in plaats van gewoon verloren te gaan.
Daar komen de goudcoateerde reflectoren om de hoek kijken.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminium, maar aluminium neemt te veel infraroodenergie op. Goud is anders: het weerkaatst near-infraroodfotonen met grote efficiëntie.
In plaats van energie te verspillen aan het opwarmen van het chassis van de machine, stuurt de goudlaag die energie rechtstreeks naar de wafer. Je krijgt dus veel meer warmte voor elke kilowatt die je uit het stopcontact haalt. Het is gewoon slimmer.
Een waarschuwing over de warmte
Omdat we ozonvrije kwartsbuizen gebruiken, wordt de emissie van golflengten van 185 nm tegengehouden. Hierdoor blijft het O3-gas buiten de kamer – wat essentieel is voor elke goede schone ruimte.
Maar er is één nadeel: wanneer je deze lampen combineert met goudreflectoren, stijgt de temperatuurdichtheid aanzienlijk. Je moet goed oppassen met het koelsysteem. Als de luchtcirculatie niet voldoende is, kan dat leiden tot beschadiging van de lampen of het frame. Het is een veelvoorkomende fout, maar wel een dure.
Praktische toepassing
Het gaat er vooral om hoe dicht de lamp bij de wafer staat. Hoe dichter de lamp bij de wafer, hoe minder warmte zich verspreidt.
Als je een oude aluminiumopstelling vervangt door een opstelling met goudreflectoren, merk je meteen het verschil. De wafers bereiken hun gewenste temperatuur sneller. Dat betekent dat je cyclustijden korter worden en je productiecapaciteit toeneemt.
Één belangrijk punt: houd die reflectoren schoon. Eén vingerafdruk of een klein vlekje olie op het goudoppervlak kan al voor problemen zorgen. Behandel ze goed, dan zorgen ze ervoor dat je hoge opbrengsten behaalt.