Come ottenere più calore sulle wafer (senza sprechi)
Quando si lavora con wafer semiconduttori, la contaminazione chimica rappresenta un vero problema. Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi prive di ozono. Ma il vero problema è questo: non si tratta di quanta energia possiamo generare, bensì di quanto di essa arrivi effettivamente sulla wafer, invece di disperdersi nell’aria.
È qui che entrano in gioco i riflettori rivestiti d’oro.
Perché l’oro?
La maggior parte delle persone utilizza l’alluminio, ma l’alluminio assorbe troppa energia infrarossa. L’oro, invece, riflette i fotoni a lunghezze d’onda infrarosse con grande efficacia. In questo modo, l’energia non viene sprecata per riscaldare il corpo macchina, ma viene direttamente trasferita sulla wafer. Si ottiene quindi molto più calore per ogni watt di energia utilizzato. È semplicemente più efficiente.
Attenzione al calore
Poiché utilizziamo tubi di quarzo privi di ozono, eliminiamo quella linea di emissione a 185 nm. Questo impedisce alla sostanza O3 di entrare nella camera di lavoro, cosa fondamentale per qualsiasi ambiente pulito.
Tuttavia, c’è un problema: quando si combinano queste lampade con riflettori d’oro, la densità del calore aumenta notevolmente. Bisogna quindi prestare attenzione al sistema di raffreddamento. Se il flusso d’aria non è adeguato, è possibile danneggiare i connettori delle lampade o deformare il loro supporto. È un errore comune, ma costoso.
Impostazioni pratiche
È importante mantenere una certa distanza tra le lampade e le wafer: maggiore è questa distanza, minore sarà la dispersione del calore. Se si sostituisce un sistema basato sull’alluminio con uno basato sull’oro, si noterà immediatamente la differenza: le wafer raggiungono la temperatura desiderata molto più velocemente. Ciò significa che i tempi di ciclo diminuiscono e la produttività aumenta.
Un ultimo consiglio: bisogna mantenere i riflettori sempre puliti. Anche una sola impronta digitale o una piccola macchia di olio sulla superficie d’oro può creare zone di minor temperatura. Questo rovina immediatamente l’uniformità termica. Trattateli con cura, e saranno in grado di garantire una buona qualità dei prodotti.