Nella fase di produzione dei biosensori, la qualità dei wafer dipende in modo cruciale dalla ripetibilità termica durante i processi di cottura. Una variazione di temperatura di 30 m°C durante la cottura del fotorest può compromettere il controllo della larghezza delle linee presenti sul wafer; inoltre, la formazione di particelle durante la cottura può ridurre drasticamente il tasso di produzione. Abbiamo quindi sviluppato un sistema a luce infrarossa per eliminare queste incertezze.
Quello che è davvero importante
Utilizziamo emitter a onde corte nel campo del NIR, abbinati a ottiche in quarzo: in questo modo il calore viene trasmesso direttamente al wafer, in modo rapido e preciso, senza alcun rischio di sovraccarico termico. Il risultato è una uniformità della temperatura entro ±0,1°C su tutta l’area attiva del wafer. Questo permette che sia i processi di cottura “morbidi” che quelli “duri” abbiano lo stesso effetto, lotto dopo lotto. La macchina può funzionare 24/7, senza interruzioni indesiderate, ed è completamente priva di particelle, essendo quindi compatibile con ambienti di tipo Class 1–100.
Perché è adatto alla produzione di biosensori
Nella produzione dei biosensori vengono creati strati sottili e strutture delicate, facilmente soggette a stress termici. Inoltre, il fotorest può perdere le sue proprietà se la temperatura durante la cottura non è stabile. I nostri dispositivi garantiscono una temperatura di cottura precisa e ripetibile, permettendo così di mantenere costanti i parametri legati alla litografia e all’etching. Questo riduce le variazioni nella larghezza delle linee e migliora la qualità delle superfici del wafer. Il tempo di ciclo viene ridotto grazie al rapido aumento della temperatura, mentre l’efficienza energetica riduce i costi per ogni wafer prodotto. Il risultato è un tasso di successo più elevato nelle prime fasi di produzione e meno necessità di rifacimenti.
Cosa bisogna tenere sotto controllo
La potenza emessa dalle lampade dipende dalla distanza tra l’emettitore e il wafer, nonché dalla pulizia della finestra in quarzo. Pertanto, è necessario mantenere una distanza focale costante e effettuare controlli periodici per assicurarsi che tutto funzioni correttamente. L’integrazione della macchina è semplice, ma è necessario adattare il profilo termico in base al fotorest e al substrato utilizzati. È importante effettuare dei test preliminari per fissare i parametri di produzione prima di iniziare la produzione su larga scala.