Mantenere la stanza pulita al 100%
Nel mondo della produzione di wafer, anche un solo granello di polvere rappresenta un problema grave: può distruggere l’intero lotto di chip prodotti. È una situazione davvero stressante. La maggior parte dei componenti termici funziona male in questi ambienti, poiché tendono a rilasciare gas o particelle proprio nel momento in cui non se ne vuole assolutamente.
Ecco perché scegliamo lampade a infrarossi in quarzo sintetico ad alta purezza: queste non presentano tali problemi.
Il vantaggio del quarzo
Utilizziamo silice fusa, in grado di resistere al calore senza cristallizzarsi. Se si utilizza vetro di scarsa qualità o quarzo di bassa qualità, i tubi iniziano a creparsi o a produrre polvere durante il riscaldamento e il raffreddamento. Questo è assolutamente da evitare. I nostri tubi rimangono lisci; poiché i raggi infrarossi colpiscono direttamente il substrato, non ci sono intermediari che possano portare impurità sulla superficie del wafer.
Adattamento alle strumentazioni
Gli strumenti per la lavorazione dei semiconduttori sono spesso molto compatti. Sappiamo bene questo problema, quindi abbiamo modificato la geometria dei filamenti per assicurarci che il calore venga distribuito uniformemente sul wafer. Niente punti caldi, niente gradienti anomali… E, soprattutto, niente deformazioni durante il processo di cottura.
Siamo anche molto attenti ai sigilli presenti sui tubi: ci assicuriamo che il gas allogenico rimanga all’interno della lampada, evitando così perdite di pressione nel sistema di vuoto.
Tuttavia, questi sigilli devono essere perfettamente chiusi; se uno di essi dovesse rompersi, la lampada si brucerà rapidamente. È un compromesso necessario. Preferiamo che la lampada si distrugga velocemente, piuttosto che permettere a delle perdite di rovinare la stanza pulita. Per questo motivo, bisogna trattarle con cura: l’allineamento preciso è fondamentale per evitare di esercitare troppa pressione sul quarzo.
Come farle funzionare
È semplice collegarle ai controller PID esistenti. Poiché il quarzo non trattiene il calore a lungo, queste lampade si accendono e si spegnono in fretta. Ciò permette di avere un maggiore controllo sulla temperatura del wafer.
Quando una lampada raggiunge il suo limite di funzionamento, basta semplicemente sostituirla. È un’operazione semplice. Un consiglio per i tecnici: usate stracci anti-polvere e alcol isopropilico per pulire il tubo prima di inserirlo nuovamente in funzione. Mantenendolo pulito, tutto funzionerà correttamente.