क्लीनरूम में कार्बन उत्सर्जन को कम करना: वॉटरप्रूफ आईआर हीटिंग क्यों प्रभावी है?
सेमीकंडक्टरों को साफ करने हेतु उपयोग की जाने वाली प्रक्रियाओं के बारे में सच कहें तो, ये प्रक्रियाएँ काफी ऊर्जा-खपत वाली हैं। लंबे समय तक हमने यही माना कि वेफरों को सूखाने हेतु बड़ी मात्रा में हवा को गर्म करना ही एकमात्र तरीका है। लेकिन ऐसा करने से बस कुछ बूँदों को हटाने हेतु ही बहुत अधिक ऊर्जा खर्च हो जाती है।
हमने इसका एक बेहतर तरीका खोजा – वॉटरप्रूफ आईआर लैंप।
हवा को गर्म करना बंद करें
आईआर लैंपों की विशेषता यह है कि ये चैंबर में मौजूद हवा की ओर ध्यान ही नहीं देते। इन्हें ऐसा करने की कोई आवश्यकता ही नहीं है। इनकी ऊर्जा सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँचती है। यह तो बहुत ही बेहतर तरीका है… आपको पूरे कमरे को गर्म करने हेतु हजारों वाट ऊर्जा खर्च करने की आवश्यकता ही नहीं है… बस लक्ष्य पर ही ऊर्जा लगाई जाती है। ऐसा करने से ऊर्जा-खपत कम हो जाती है। यदि आप “ग्रीन फैक्ट्री” बनाना चाहते हैं, तो यह आपके कार्बन उत्सर्जन को कम करने हेतु एक बेहतरीन तरीका है।
वेटेड एरिया हेतु उपयुक्त
आम तौर पर, रिन्सिंग प्रक्रिया में उच्च-तापमान वाले लैंपों का उपयोग खतरनाक होता है… उच्च आर्द्रता एवं तरल पदार्थों के कारण क्वार्ट्ज ट्यूबें टूट सकती हैं, या शॉर्ट-सर्किट हो सकता है। हमने इस समस्या का समाधान विशेष वॉटरप्रूफ कोटिंगों एवं नमी-प्रतिरोधी कवरों के उपयोग से किया। इससे पानी इलेक्ट्रोडों तक नहीं पहुँच पाता… इस प्रकार लैंप नम वातावरण में भी काम कर सकता है, बिना हर कुछ हफ्तों में खराब होने के।
एक बड़ी समस्या…
मैं यह नहीं कहूँगा कि यह कोई जादुई तरीका है… उच्च-तापमान वाले लैंपों के उपयोग से आपको अपनी शीतलन प्रणाली पर फिर से ध्यान देना होगा। चूँकि ऊर्जा बहुत ही केंद्रित रूप से वेफर पर ही पहुँचती है, इसलिए वेफर बहुत जल्दी ही सूख जाता है… लेकिन ऐसी उच्च ऊर्जा से आसपास के सेंसरों/प्लास्टिक भागों पर दबाव पड़ सकता है… इसलिए आपको अपने कूलिंग फैनों/हीट सिंकों को मजबूत करने की आवश्यकता है… यह तो एक छोटा सा बदलाव है, लेकिन आवश्यक है।
नतीजा…
परिणाम? आपकी प्रक्रिया-समय में कमी आ जाती है… जब वेफर जल्दी ही सूख जाते हैं, तो आप अधिक वेफरों को एक ही समय में संसाधित कर सकते हैं… इससे प्रति वेफर उपयोग होने वाली ऊर्जा में भी कमी आ जाती है… ऐसे ही कार्बन-उत्सर्जन कम होता है… बस इसे PID कंट्रोलर से जोड़ दें… और आपको टिकाऊ उत्पादन हेतु बेहतरीन समाधान मिल जाएगा… बहुत ही आसान।