फैब फ्लोर पर, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” के दौरान होने वाला तापीय परिवर्तन, ऐसा ही एक कारक है जिसके कारण फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता में अनिश्चितता आ जाती है। 2°C का ही अंतर भी फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता को बर्बाद कर सकता है… इसलिए हमने वीको MOCVD हीटर लैंप बनाया, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं को दूर किया जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह लैंप, क्वार्ट्ज आवरण के भीतर छोट-तरंगदैर्घ्य वाले एनआईआर हैलोजन तत्वों का उपयोग करता है; इससे वेफर स्तर पर ±0.1°C की सुसंगतता के साथ तेज एवं स्थानीयकृत ऊष्मा प्राप्त होती है। यह लैंप, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों चरणों में स्थिर तापमान बनाए रखता है… बिना तापीय सीमाओं को लांघे।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए, यह डिज़ाइन कम गैस उत्सर्जन एवं शून्य कण उत्पादन के साथ सब कुछ नियंत्रित रखता है… स्थिर अवस्था में भी। इसकी विश्वसनीयता 24/7 बनी रहती है… फील्ड यूनिटों ने 5,000+ घंटे तक काम किया है, और अभी भी ऊर्जा खपत 5% से कम ही है।
लिथोग्राफी में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, यह लैंप हॉट प्लेट के तापमान को संतुलित रखता है… इससे फोटोरेजिस्ट का व्यवहार नियमों के अनुसार ही होता है… बिना किसी अनिश्चितता के। इससे विभिन्न बैचों में गुणवत्ता में सुसंगतता बनी रहती है… जिससे पुनर्कार्य एवं अपशिष्ट कम हो जाता है।
तेजी से तापमान नियंत्रण के कारण ऊर्जा खपत भी नियंत्रित रहती है… एवं पूर्वानुमेय तापीय प्रोफाइल के कारण बेकिंग प्रक्रिया को संक्षिप्त किया जा सकता है… बिना फिल्म की गुणवत्ता पर कोई प्रभाव पड़े। इसका परिणाम है – बेहतर सुसंगतता, एटचिंग के बाद साफ इंटरफेस, एवं उच्च उत्पादन दर… खासकर उन्नत नोड्स पर।
क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
लैंप की स्थापना बिल्कुल सही तरीके से होनी चाहिए… लैंप को सटीक रूप से ससेप्टर के साथ संरेखित करना आवश्यक है… ताकि तापीय संबंध मजबूत रहे, एवं सुरक्षा उपाय भी सही तरीके से काम करें।
लैंप को निर्धारित वोल्टेज एवं शीतलन परिस्थितियों के भीतर ही रखना आवश्यक है… यदि तापीय भार बढ़ जाए, तो लैंप की उम्र कम हो जाएगी। नियमित रूप से लैंप की जाँच करना आवश्यक है… ऐसा करने से उपकरण की उपलब्धता बनी रहेगी, एवं कणों की संख्या भी नियंत्रित रहेगी।