फैब फ्लोर पर, स्ट्रिप चेम्बर तब तक निष्क्रिय ही रहता है, जब तक कि उसका तापमान वांछित स्तर तक न पहुँच जाए। यदि सपोर्ट हीटर सही तरह से काम न करे, तो अवशेष बच जाते हैं; ऐसी स्थिति में अगली परत ठीक से चिपकती नहीं। इसलिए आवश्यक है कि तापमान को नियंत्रित रखा जाए, चाहे वह एक बार में हो या कई बार में।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग सपोर्ट हीटर को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (SWIR) क्वार्ट्ज एमिटरों के आधार पर बनाया है। ये एमिटर तेजी से प्रतिक्रिया देते हैं, जिससे तापमान को अच्छी तरह नियंत्रित किया जा सकता है। इस उपकरण के कारण वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है; इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं में भी तापमान नियंत्रित रहता है। यह उपकरण क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही काम करता है, एवं हम इन-सिटू मॉनिटरिंग के माध्यम से यह सुनिश्चित करते हैं कि कोई कण उत्पन्न न हो। यह उपकरण 24/7 काम कर सकता है; इसकी उम्र 5,000 घंटे से अधिक हो सकती है, एवं इसका आउटपुट ड्रिफ्ट 5% से कम ही रहता है। इसके लिए 208–240 वोल्ट की आवश्यकता है; इसका आकार छोटा है, इसलिए इसे किसी भी उपकरण में आसानी से लगाया जा सकता है।
प्रक्रिया में इसका क्या महत्व है?
फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग प्रक्रिया में तापमान बहुत ही महत्वपूर्ण है। जब हीटर जल्दी ही स्थिर हो जाता है, तो स्ट्रिपिंग के बीच का समय कम हो जाता है, एवं अंडर-बेक/ओवर-बेक होने वाले वेफरों की संख्या भी कम हो जाती है। तापमान का नियंत्रण लिथोग्राफी के बाद भी आवश्यक है; इससे वेफरों के आकार में एकरूपता बनी रहती है। इससे कम रासायनिक पदार्थों का उपयोग होता है। इसका परिणाम है – नियमित चक्र-समय, कम रीवर्किंग, एवं कम समय में ही काम पूरा होना।
इंस्टॉलेशन के दौरान क्या ध्यान देना आवश्यक है?
यह सुनिश्चित करें कि चेम्बर का फ्लैंज सही ढंग से जुड़ा हो, एवं एमिटरों की स्थिति वेफरों के मार्ग के संबंध में सही हो। SWIR एमिटर तेजी से गर्मी पैदा करते हैं; इसलिए इनकी गर्मी को उचित तरीके से नियंत्रित करना आवश्यक है, ताकि पॉलिमर सील नष्ट न हो जाएं। जब रेसिपी बदली जाती है, तो थोड़ा समय लेकर कैलिब्रेशन करें, एवं क्लीनरूम की योग्यता की जाँच भी करें। हम पहले ही इंटरफेस डिज़ाइन भेज देते हैं, ताकि इंटीग्रेशन संबंधी कोई जोखिम न रहे।