Parlons des lampes infrarouges à haute intensité dans le domaine du durcissement des semi-conducteurs
Si vous avez déjà travaillé dans le traitement des wafers ou dans la cuisson des photosensibilisateurs, vous savez que les lampes chauffantes constituent essentiellement le cœur de tout ce processus. Récemment, on observe une tendance forte vers des normes « écologiques » et sans plomb. Mais honnêtement, il ne s’agit pas simplement d’une stratégie de communication de l’entreprise. Il s’agit plutôt d’éliminer ces composés organiques volatils néfastes et de mettre fin à la consommation d’énergie excessive liée aux anciens fours à convection.
Comment fonctionne réellement la chaleur
Pensez à un four à convection : il perd beaucoup de temps et d’énergie rien que pour chauffer l’air contenu dans la pièce, avant même que cette chaleur n’atteigne le matériau à traiter. Les lampes infrarouges à haute intensité fonctionnent différemment. Elles utilisent des rayonnements électromagnétiques pour envoyer des photons directement dans le matériau. C’est une transmission directe de l’énergie, sans gaspillage d’énergie.
La lutte contre la contamination
Dans une salle propre, même une petite quantité de poussière ou une molécule étrangère peut provoquer des problèmes graves. Elle peut détruire toute une série de wafers en un instant. C’est pourquoi nous utilisons des lampes à haute intensité : elles sont fabriquées à partir de quartz synthétique de haute qualité et de filaments spéciaux, ce qui évite toute contamination par des impuretés métalliques. De plus, ces lampes fonctionnent très rapidement : on peut augmenter ou diminuer la température en quelques secondes. Plus besoin d’attendre que la machine se réchauffe.
Les inconvénients (et comment y remédier)
Le problème, c’est que les lampes à haute intensité génèrent une chaleur très élevée. Cette chaleur est utile pour accélérer le processus de durcissement, mais elle exerce également une forte pression sur le système de refroidissement. Si les échangeurs thermiques ne sont pas suffisants, la zone autour de la lampe devient extrêmement chaude. Dans ce cas, les filaments brûleront bien avant leur temps prévu. Il s’agit d’un compromis qu’il faut gérer.
Meilleur pour la planète, meilleur pour votre portefeuille
Le meilleur aspect de cette solution, c’est qu’elle facilite vraiment le travail. En renonçant aux solvants chimiques et en réduisant la taille des équipements de chauffage, on atteint les objectifs environnementaux sans aucun effort. On cesse également d’utiliser du soude contenant du plomb, ce qui permet d’économiser de l’énergie. Tout cela rend l’usine plus propre, et vos factures d’électricité en seront certainement réduites.