در کف سنگی، حتی تغییر نیم درجهای در دما در طول فرآیند TARC/BARC، میتواند باعث ایجاد نقصهایی در ابعاد مهم قطعات شود؛ این نقصها تنها در مرحله بازرسی قابل تشخیص خواهند بود. آنچه لازم است، دمایی است که به عنوان یک پارامتر ثابت عمل کند، نه یک متغیر.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما این هیترهای TARC/BARC را بر اساس عناصر مادونقرمز کوتاهامواج و طراحی حرارتی مبتنی بر کوارتز ساختهایم. نتیجه این کار، یکنواختی دما در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، است. تکرارپذیری دما نیز در هر چرخه، در همین محدوده باقی میماند؛ بنابراین پروفایلهای حرارتی مربوط به فرآیندهای حرارتی، از الگوهای مشخص شده منحرف نمیشوند. منطقه گرم، برای کار در محیطهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است؛ از موادی با گازدهی کم و مسیرهایی کنترلشده برای جلوگیری از افزایش تعداد ذرات در نقاطی که فوتورزیست بسیار حساس است، استفاده شده است. رابطهای اتصال این هیترها نیز مطابق با استانداردهای مربوط به لایههای پوششی و فرآیندهای حرارتی طراحی شدهاند؛ بنابراین ادغام این هیترها در سیستم بدون نیاز به تغییرات اضافی امکانپذیر است.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
در تولید، این دقت مستقیماً منجر به افزایش بازدهی میشود. پایداری فرآیند TARC/BARC، باعث کاهش نوسانات بازتابپذیری، کاهش اثرات موجهای ساکن، و کنترل بهتر ابعاد قطعات میشود؛ در نتیجه، نیاز به بازسازی و تولید مجدد کمتر میشود. همچنین، استفاده از انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا کنترل سریع دما و اتصال حرارتی مناسب، باعث کوتاه شدن زمان حرارتدادن بدون از دست رفتن یکنواختی دما میشود. قابلیت اطمینان این سیستم برای کار ۲۴/۷ فراهم شده است؛ زیرا چرخههای حرارتی، عملکرد سیستم را در هزاران ویفر تحت تأثیر قرار نمیدهند.
چه چیزهایی باید بدانید؟
این هیترها نیاز به منبع تغذیه پایدار و رابط اتصال تمیز دارند. حتی کوچکترین انحراف مکانیکی نیز میتواند باعث ایجاد نقاط گرم محلی و از بین رفتن یکنواختی دما شود. لطفاً، نصب این هیترها را با توجه به دسترسی به مسیرهای لازم و جریان سیالات خنککننده برنامهریزی کنید؛ همچنین، پس از تعویض، مقادیر دمایی مورد نیاز را بررسی کنید. مقادیر دمایی که در یک پلتفرم مناسب هستند، ممکن است در پلتفرم دیگر نیاز به تنظیمات اضافی داشته باشند.
پروفایل حرارتی را بخشی از سیستم لیتوگرافی در نظر بگیرید؛ نه یک پارامتر جداگانه.