جلوگیری از شکستن لولههای کوارتز: حفظ تمیزی ویفرها در صورت خرابی لامپهای مادون قرمز
اگر تا به حال شاهد شکستن لامپ مادون قرمز در داخل جعبههای ایمنی بودهاید، میدانید که این موضوع چقدر وحشتناک است. مسئله فقط متوقف شدن دستگاه نیست؛ بلکه آشفتگی ناشی از شکستن لولهها نیز وجود دارد.
یک لوله کوارتز شکسته، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی را در همه جا پراکنده میکند؛ در نتیجه، ویفرهای شما خراب میشوند و شما مجبور میشوید کل محفظه را تمیز کنید؛ این کار باعث کاهش بهرهوری شما برای چند روز میشود.
چرا این لولهها در واقع شکسته میشوند؟
معمولاً دلیل آن، فشار حرارتی است. این لامپها در معرض چرخههای سریع گرم شدن و سرد شدن قرار میگیرند؛ این کار باعث تخریب ماده تشکیلدهنده لولهها میشود. یا اینکه ولتاژ بیش از حدی وارد لوله میشود که لوله نمیتواند آن را تحمل کند.
ما برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده مقاومت بیشتری دارد. اما راز واقعی، انتخاب لولههای مناسب است. اگر لامپی با توان بالا را در فضایی قرار دهید که هوای کافی نداشته باشد، نقاط داغی روی فیلامنت لامپ ایجاد میشود؛ این موضوع مانند کار بیش از حد موتور است؛ در نتیجه، لامپ خیلی زود خراب میشود.
برقراری سیستم ایمنی
ما فقط امیدواریم که لامپ خراب نشود؛ بلکه برای مواقعی که لامپ خراب میشود، نیز برنامهریزی کردهایم.
ما از درپوشهای محکم و روکشهای ویژه برای جلوگیری از انفجار لولهها استفاده میکنیم. اگر فیلامنت لامپ بشکند، این درپوشها تکههای شیشهای را در خود نگه میدارند؛ در نتیجه، آشفتگی در محیط ایجاد نمیشود و ویفرهای شما خراب نمیشوند.
یک جزئیات مهم دیگر نیز وجود دارد: کانکتورها. ما از کانکتورهای صنعتی R7 یا SK15 استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون اتصالات ضعیف باعث ایجاد جرقه میشود؛ در جعبههای ایمنی، این جرقهها اغلب باعث شکستن لولهها میشوند. اتصالات محکم، عوامل غیرمنتظره را کاهش میدهد.
معایبی که باید در نظر بگیرید
موجهای کوتاه مادون قرمز عالی هستند؛ زیرا گرما را به سرعت افزایش میدهند و به این ترتیب ویفرها سریعتر حرکت میکنند.
اما این شدت گرما، هزینههایی دارد؛ زیرا فشار زیادی بر سیستم خنککننده جعبه ایمنی وارد میشود. اگر جریان هوا نتواند گرمای اضافی را از اطراف لامپ دور کند، در واقع لامپ در حال سوختن است.
برای اینکه همه چیز به خوبی کار کند، باید به الکترودها توجه کنید؛ هر ۲۰۰۰ ساعت، الکترودها را برای بررسی اکسیداسیون بررسی کنید. این کار ساده است، اما بهترین راه برای جلوگیری از خرابی لامپ در زمانی که کمتر انتظارش را دارید، است.