Reducción de las emisiones de carbono en las salas limpias: Por qué las lámparas infrarrojas impermeables funcionan realmente bien
Seamos sinceros: los ciclos de enjuague de los semiconductores son bastante consumidores de energía. Durante mucho tiempo, hemos aceptado que calentar grandes cantidades de aire para secar una oblea era la única forma de hacerlo. Pero eso representa una gran pérdida de energía, solo para eliminar unas pocas gotas de agua de la superficie de la oblea.
Hemos encontrado una mejor solución: lámparas infrarrojas impermeables.
Dejen de calentar el aire
Lo bueno de las lámparas infrarrojas es que no afectan al aire presente en la cámara. No es necesario hacerlo. En su lugar, dirigen la energía directamente sobre la superficie de la oblea. Es una forma mucho más eficiente de trabajar. No se gastan kilovatios intentando calentar toda la habitación; simplemente se enfoca el calor en el objetivo deseado. Al hacerlo así, se reduce el consumo de energía. Si se quiere construir una “fábrica ecológica”, esta es una de las formas más sencillas de reducir las emisiones de carbono.
Diseñadas para entornos húmedos
Por lo general, colocar lámparas de alta temperatura en la fase de enjuague es un desastre. Alta humedad y salpicaduras de líquido pueden causar daños en los tubos de cuarzo o provocar cortocircuitos. Hemos resuelto este problema usando recubrimientos impermeables y tapas resistentes a la humedad. De esta manera, el agua no llega a los electrodos. Así, las lámparas pueden funcionar perfectamente en entornos húmedos, sin quemarse cada pocos semanas.
El compromiso (porque siempre hay uno)
No diré que sea una solución mágica. Al utilizar lámparas de alta intensidad infrarroja, hay que reconsiderar el sistema de refrigeración. Dado que el calor está muy concentrado, la oblea se seca muy rápido. Pero ese calor localizado puede dañar los sensores o las piezas plásticas cercanas. Probablemente sea necesario mejorar los ventiladores o disipadores de calor para mantener la temperatura adecuada. Es un pequeño ajuste, pero necesario.
El resultado final
El resultado es que los tiempos de procesamiento disminuyen. Cuando las obleas se secan más rápido, se pueden procesar más unidades por unidad de tiempo. Se utiliza menos electricidad y se logra un mayor rendimiento. Así, la cantidad de carbono emitido por cada oblea disminuye. Basta con conectarlas a un controlador PID para mantener la temperatura estable. Es simple.