Lassen Sie uns über UHP-Infrarotlampen im Bereich der Halbleiterbearbeitung sprechen.
Wenn Sie bereits Erfahrung mit der Verarbeitung von Wafern oder dem Trocknen von Fotoresisten haben, wissen Sie, dass die Heizlampen im Grunde das Herzstück des gesamten Prozesses sind. In letzter Zeit gibt es einen starken Trend hin zu „grünen“ und „bleifreien“ Standards. Aber ehrlich gesagt: Es handelt sich dabei nicht nur um Marketingstrategien der Unternehmen. Es geht darum, schädliche flüchtige organische Verbindungen zu beseitigen sowie den enormen Energieverbrauch der alten Konvektionsöfen zu reduzieren.
Wie die Wärme tatsächlich wirkt
Stellen Sie sich einen Konvektionsofen vor: Er verschwendet viel Zeit und Energie darauf, eine große Menge Luft zu erhitzen, bevor die Wärme überhaupt auf das zu behandelnde Material trifft.
UHP-Infrarotlampen funktionieren anders. Sie nutzen elektromagnetische Strahlung, um Photonen direkt in das Material zu senden. Es handelt sich dabei um einen direkten Weg vom Lampengehäuse zum Zielobjekt. Keine verschwendeten Kilowatt – nur schnelle, direkte Energieübertragung.
Der Kampf gegen Kontaminationen
In einer Reinräumumgebung kann schon ein winziger Staubkorn oder eine fremde Molekülgruppe katastrophale Folgen haben. Dadurch kann ganze Chargen von Wafern zerstört werden.
Deshalb verwenden wir UHP-Lampen. Sie bestehen aus hochwertigem synthetischem Quarz sowie speziellen Filamenten – dadurch müssen Sie sich keine Sorgen um metallische Verunreinigungen machen. Zudem reagieren diese Lampen äußerst schnell: Die Temperatur kann in Sekundenschnelle erhöht oder gesenkt werden. Kein Warten mehr darauf, dass die Maschine „aufwärmt“.
Die Nachteile – und wie man damit umgeht
Die hohe Intensität der Infrarotstrahlung bringt zwar Vorteile mit sich – doch sie belastet auch das Kühlsystem stark. Wenn die Wärmetauscher nicht ausreichen, wird die Umgebung um das Lampengehäuse viel zu heiß. Dadurch verbrennen die Filamente deutlich früher, als eigentlich nötig wäre. Das ist ein Kompromiss, mit dem man umgehen muss.
Besser für den Planeten – und besser für die Tasche
Das Beste daran ist, dass diese Lösung das Leben erleichtert. Durch den Verzicht auf chemische Lösungsmittel sowie durch die Verkleinerung der Heizeinrichtungen können die Umweltziele ohne großes Aufwand erreicht werden. Man muss nicht mehr auf bleihaltige Lötstoffe zurückgreifen – außerdem wird weniger Energie verbraucht. Dadurch wird die Fabrik sauberer – und Ihre Stromrechnungen werden es Ihnen sicherlich danken.