Mehr Wärme auf die Wafer bringen – ohne Verschwendung
Beim Arbeiten mit Halbleiterwafern stellt die chemische Kontamination ein großes Problem dar. Deshalb verwenden wir Infrarotlampen ohne Ozon. Doch das eigentliche Problem ist nicht die Menge an Wärme, die erzeugt werden kann – sondern vielmehr, wie viel davon tatsächlich auf den Wafer trifft und nicht einfach in der Luft verschwindet.
Daher kommen hier die mit Gold beschichteten Reflektoren ins Spiel.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminium – doch Aluminium ist eher wie ein Schwamm für Infrarotenergie. Es absorbiert zu viel Energie. Gold hingegen reflektiert die nahinfraroten Photonen mit erstaunlicher Effizienz. Anstatt Energie dafür zu verschwenden, das Chassis der Maschine zu erwärmen, leitet die Goldschicht die Energie direkt auf den Wafer. So erhalten Sie viel mehr Wärme pro eingesetztem Watt. Das ist einfach intelligenter.
Ein Hinweis zur Wärme
Da wir ozongefreie Quarzlampen verwenden, entfällt die 185-nm-Strahlung. Dadurch bleibt das O3-Gas außerhalb des Reinraums – was für jeden ordentlichen Reinraum unerlässlich ist. Doch es gibt einen Haken: Wenn man solche Lampen mit Goldreflektoren verwendet, steigt die Wärmedichte erheblich an. Man muss also besonders auf die Kühlung achten. Wenn die Luftzirkulation nicht ausreicht, um diese zusätzliche Effizienz zu bewältigen, können die Lampen beschädigt werden. Das ist ein häufiger Fehler – doch ein teurer.
Praktische Umsetzung
Es geht dabei vor allem um die Entfernung zwischen der Lampe und dem Wafer. Je näher die Lampe am Wafer ist, desto weniger breitet sich die Wärme aus. Wenn man eine alte Aluminium-Lösung durch eine Lösung mit Goldreflektoren ersetzt, merkt man sofort den Unterschied. Die Wafer erreichen ihre Zieltemperatur viel schneller. Das bedeutet kürzere Bearbeitungszeiten und höhere Produktivität.
Eine wichtige Regel: Halten Sie die Reflektoren stets sauber. Jeder Fingerabdruck oder kleine Ölfleck auf der Goldoberfläche kann dazu führen, dass es zu kalten Stellen kommt. Das zerstört sofort die gleichmäßige Wärmeverteilung. Behandeln Sie die Reflektoren sorgfältig – dann werden sie Ihre Produktivität unterstützen.