V samotné výrobní místnosti zůstává jednotka určená k odstranění fotorezistoru neaktivní, dokud nedosáhne požadované teploty. Pokud začne topný element selhávat, zůstanou po něm zbytky – a další vrstva se potom neulepí tak, jak by měla. Je třeba mít kontrolu nad teplotou, aby se hodnota udržovala na požadované úrovni, a to při každém procesu výroby.
Co je opravdu důležité Naši jednotku jsme vybavili krystalovými emitorami v oblasti krátkovlnného infračerveného záření. Ty reagují rychle a umožňují precizní kontrolu teploty. Jednotka dosahuje rovnosti teploty ±0,1 °C na celé ploše čipu, takže profile teploty během procesů zůstávají v mezích specifikací. Jednotka funguje v prostředí s čistotou třídy 1–100. Certifikujeme také absenci částic pomocí monitorování přímo v provozu. V praxi funguje 24/7 – jednotky vydrží více než 5 000 hodin bez výrazných poruch. Specifikace zahrnují napájení na 208–240 V, kompaktní konstrukci vhodnou pro modernizace a standardní rozhraní mezi krystalem a komorou.
Proč je to důležité v průběhu procesu Odstraňování fotorezistoru je v podstatě procesem spojeným s teplem. Když se topný element rychle stabilizuje, snižuje se doba nečinnosti mezi jednotlivými operacemi a zamezuje se znehodnocení čipů kvůli nedostatečnému nebo nadměrnému zahřátí. Přesná kontrola teploty zaručuje konzistentní kontrolu kritických rozměrů po litografii. Díky tomu lze použít méně chemikálií. Výsledkem je předvídatelná doba procesu, méně oprav a skutečná úspora energie díky kratším dobám zahřevu.
Na co je potřeba dávat pozor při instalaci Ujistěte se, že okraje komory sedí správně a že emitory jsou správně zarovnány vzhledem ke dráze čipu. Krátkovlnné infračervené záření zahřívá rychle, ale tato „horká zóna“ potřebuje dostatečnou ochranu, aby nebyly poškozeny polymerové uzavírky. Při změně receptury je potřeba provést krátkou kalibraci a ověřit kompatibilitu s prostředím s danou úrovní čistoty. Posíláme nákresy rozhraní předem, abychom minimalizovali rizika spojená s integrací.