في غرفة المعالجة، يظل جهاز إزالة الفوتوريزست في حالة سكون حتى يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة. وإذا بدأ جهاز التسخين في عدم العمل بشكل صحيح، فإن ذلك سيؤدي إلى بقاء بقايا على السطح، وبالتالي لن يتمكن الطلاء الجديد من الالتصاق بشكل صحيح. لذلك، من الضروري وجود نظام تحكم حراري يضمن الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة، مرة تلو الأخرى.
ما هو الأمر المهم حقًا؟ لقد قمنا بتصميم جهاز التسخين باستخدام مصادر إشعاع تحت الأحمر ذات الموجات القصيرة. هذه المصادر تعمل بسرعة كبيرة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة. يوفر الجهاز توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يضمن استمرارية عملية التسخين بشكل صحيح في جميع أنحاء الجهاز. يعمل الجهاز في بيئات نظيفة من الفئة 1–100، ونحن نتأكد من عدم وجود أي جسيمات عالقة في الجهاز من خلال الرصد المستمر. في الاستخدام الفعلي، يظل الجهاز يعمل بشكل مستمر لمدة 24/7، ويمكن أن يعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن تزيد نسبة الخطأ في الأداء عن 5%. تتراوح الجهد المطلوب لتشغيل الجهاز بين 208–240 فولت، كما أن حجم الجهاز صغير، مما يجعله مناسبًا للاستخدام في المنشآت القديمة، بالإضافة إلى وجود واجهات قياسية بين الجهاز وغرفة المعالجة.
لماذا هذا مهم في عملية المعالجة؟ إن عملية إزالة الفوتوريزست تعتمد بشكل أساسي على الحرارة. عندما يعمل جهاز التسخين بشكل سريع، فإن ذلك يقلل من وقت الانتظار بين عمليات المعالجة المختلفة، كما يقلل من هدر الوقت في رمي الرقائق التي لم تخضع لعملية التسخين بشكل صحيح. التوزيع الموحد لدرجة الحرارة يساعد في الحفاظ على دقة الأبعاد بعد عملية الطباعة، كما يساعد في الحصول على نتائج متكررة، مما يقلل من استخدام المواد الكيميائية. النتيجة هي وقت معالجة أقل، وتقليل عدد الرقائق التي يتم إعادة معالجتها، بالإضافة إلى توفير الطاقة نتيجة لانخفاض وقت التسخين.
ما يجب مراعاته أثناء التركيب؟ يجب التأكد من أن مواقع الموصلات في الجهاز مناسبة، وأن توجيه المصادر الحرارية صحيح بالنسبة لمسار الرقائق. يعمل جهاز التسخين بسرعة، لكن من الضروري توفير حماية مناسبة للمناطق الساخنة، حتى لا تتأثر المواد البلاستيكية المستخدمة في الجهاز. عند تغيير الإعدادات، يجب إجراء تعديلات بسيطة، كما يجب التأكد من توافق الجهاز مع معايير النظافة المطلوبة. نرسل رسومات الواجهات مسبقًا لتجنب أي مشاكل أثناء التركيب.