如何正确干燥晶圆（避免灰尘问题）
如果你从事过MEMS传感器的制造工作，那么你一定知道那种糟糕的情况：哪怕有一粒微小的灰尘落在晶圆上，整批晶圆都会报废。这真是令人沮丧。通常，造成这种问题的罪魁祸首就是加热元件本身。那些旧式的金属外壳加热器在需要保持清洁的时候很容易出现碎屑或释放气体。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯泡不会产生任何碎屑或杂质，从而避免晶圆被损坏。
为什么石英灯如此有效
高纯度硅材具有很强的耐受性。即使受到极端的热冲击，它也不会破裂。不过，它的真正优点在于其加热方式——红外辐射可以直接作用于晶圆表面。这样一来，就无需依靠热空气来去除水分，因为空气其实很容易携带灰尘。
此外，这些灯泡内部还有卤素循环装置，可以防止灯丝蒸发， thereby保持玻璃内部的透明度，让灯泡的使用寿命更长。这样，就能为整个晶圆提供稳定且可靠的加热效果。
需要注意的事项
这类灯泡体积较小，适合安装在空间狭小的地方。我们可以根据腔体所需的功率密度来调整灯泡的长度和功率。不过，使用高功率的红外灯时，必须确保电源能够承受相应的负荷。否则，每次增加功率时都可能导致断路器跳闸。
另外，请务必使用PID控制器。如果温度控制不当，可能会导致薄的MEMS膜变形，而这种损坏是无法挽回的。
实际应用
归根结底，我们希望晶圆的表面能够快速且彻底地干燥，并且保持无菌状态。这些灯泡正好能满足这一需求。由于加热速度很快，晶圆在干燥阶段所需的时间也会缩短。这样一来，就不必担心会有水渍或化学残留物了。
如果你想要升级旧系统，安装这些灯泡其实相当简单。ただし，要注意安装支架的力度，不要过度挤压玻璃。如果机械应力过大，玻璃在受热膨胀时可能会断裂。