Làm thế nào để làm khô wafer một cách hiệu quả (mà không bị bụi bẩn)
Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực chế tạo cảm biến MEMS, bạn chắc hẳn đã biết rõ mối nguy hiểm này: chỉ cần một hạt bụi nhỏ dính vào bề mặt wafer thôi, toàn bộ số wafer đó sẽ trở nên vô dụng. Điều này thật khó chịu. Thông thường, nguyên nhân chính là do chính các bộ phận gia nhiệt. Những bộ phận gia nhiệt được làm từ kim loại thường dễ bị bong tróc hoặc phát ra khí khi cần được giữ sạch.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bóng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại bóng đèn này không bao giờ bị bong tróc, không tạo ra hạt bụi, và giúp wafer luôn được giữ sạch.
Tại sao thạch anh lại hiệu quả?
Thạch anh có khả năng chịu được áp lực nhiệt rất lớn. Dù bị tác động bởi nhiệt độ cao, nó cũng không bị nứt vỡ. Nhưng điều tuyệt vời nhất là cách mà thạch anh tạo ra nhiệt. Bức xạ hồng ngoại từ bóng đèn truyền thẳng vào bề mặt wafer. Bạn không cần phải dùng luồng khí nóng để loại bỏ hơi ẩm – điều này rất tốt, vì không khí chính là nguyên nhân gây ra bụi bẩn.
Chúng tôi còn sử dụng hệ thống halogen bên trong ống đèn. Hệ thống này giúp ngăn chặn sự bay hơi của sợi dây tóc bên trong, từ đó giúp bên trong ống đèn luôn trong suốt và kéo dài tuổi thọ của bóng đèn. Nhờ vậy, toàn bộ bề mặt wafer sẽ được làm nóng một cách đều đặn và ổn định.
Một vài điểm cần lưu ý
Những bóng đèn này có kích thước nhỏ, có thể lắp đặt trong những không gian chật hẹp. Chúng ta có thể điều chỉnh độ dài và công suất của chúng để phù hợp với nhu cầu của buồng xử lý.
Tuy nhiên, bạn cần chú ý đến nguồn điện cung cấp. Những bóng đèn IR có công suất cao cần một lượng điện lớn. Nếu bạn lắp đặt nhiều bóng đèn cùng lúc, hãy đảm bảo rằng bộ phận điện của bạn có thể đáp ứng được mức tải cao này. Bạn không muốn bóng đèn bị ngắt mỗi khi bạn tăng công suất lên.
Ngoài ra, hãy sử dụng bộ điều khiển PID. Nếu nhiệt độ vượt quá mức mong muốn, bạn có nguy cơ làm biến dạng các màng mỏng trong MEMS. Đó là sai lầm mà bạn không thể khắc phục được.
Ứng dụng thực tế
Cuối cùng, bạn chỉ cần một bề mặt khô ráo, sạch sẽ và vô trùng. Những bóng đèn này giúp đạt được điều đó. Vì chu kỳ gia nhiệt diễn ra rất nhanh, wafer sẽ ít phải ở trong trạng thái khô hơn. Điều này giúp giảm thiểu nguy cơ xuất hiện vết ẩm và dư lượng hóa chất.
Nếu bạn muốn nâng cấp hệ thống cũ của mình, việc thay thế bằng những bóng đèn này khá dễ dàng. Chỉ cần lưu ý một điều: hãy cẩn thận khi lắp đặt chúng. Đừng siết chặt các bộ phận kết nối quá mức. Nếu có quá nhiều áp lực cơ học, ống đèn có thể bị vỡ khi nóng lên.