ویفر کو صحیح طریقے سے خشک کرنا (گرد و غبار کے بغیر)
اگر آپ MEMS سینسروں کی تیاری میں کام کرتے ہیں، تو آپ جانتے ہیں کہ کتنی پریشانی ہوتی ہے: اگر ویفر پر ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ بھی گر جائے، تو پورا بیچ بیکار ہو جاتا ہے۔ یہ بہت پریشان کن بات ہے۔ عموماً، اس کی وجہ خود ہیٹنگ عنصر ہوتا ہے۔ وہ پرانے دھاتی ہیٹر، جن پر دھاتی آورنگ ہوتی ہے، جب درکار ہوتے ہیں، تو وہ ٹوٹ جاتے ہیں یا گیسیں خارج کرنے لگتے ہیں۔
اسی لیے ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز IR لیمپ استعمال کرتے ہیں۔ ان سے کوئی گرد و غبار نہیں نکلتا۔ نہ ہی کوئی غیرضروری ذرات، اور نہ ہی ویفر خراب ہوتا ہے۔
کوارٹز کیوں کارگر ہے؟
اعلیٰ خالصیت والے سیلیکا کی خصوصیت یہ ہے کہ یہ شدید حرارت کو برداشت کر سکتا ہے۔ اس پر شدید حرارت لگنے سے بھی یہ ٹوٹتا نہیں۔ لیکن اصل جادو تو اس کے حرارت پیدا کرنے کے طریقے میں ہے۔ IR شعاعیں سیدھے ویفر کی سطح میں جاتی ہیں۔ اس طرح نمی کو دور کرنے کے لئے گرم ہوا کی ضرورت نہیں پڑتی – جو بہت اچھی بات ہے، کیوں کہ ہوا تو گرد و غبار کو منتقل کرنے کا ذریعہ ہے۔
ہم ٹیوب کے اندر ہیلوجن سائیکل بھی استعمال کرتے ہیں۔ اس سے فلامنٹ کے بخارات بننے سے روکا جاتا ہے، جس سے ٹیوب کے اندر کا حصہ صاف رہتا ہے، اور لیمپ زیادہ عرصے تک کام کرتا رہتا ہے۔ اس طرح پورے ویفر پر یکساں اور قابل اعتماد حرارت پیدا ہوتی ہے۔
کچھ احتیاطی تدابیر
یہ لیمپ بہت چھوٹے ہوتے ہیں، اور یہ تنگ جگہوں میں بھی فٹ ہو جاتے ہیں۔ ہم ان کی لمبائی اور واٹیج کو اس طرح ایڈجسٹ کر سکتے ہیں کہ یہ آپ کے چیمبر کی ضروریات کے مطابق ہوں۔
لیکن پاور سپلائی کے معاملے میں احتیاط ضروری ہے۔ اعلیٰ واٹیج والے IR لیمپوں کو زیادہ بجلی کی ضرورت ہوتی ہے۔ اگر آپ ایک سے زیادہ لیمپ استعمال کر رہے ہیں، تو یقین کریں کہ آپ کا الیکٹریکل پینل اس بوجھ کو سنبھال سکتا ہے۔ آپ نہیں چاہیں گے کہ ہر بار بریکرز ٹوٹ جائیں۔
اس کے علاوہ، براہ کرم PID کنٹرولر استعمال کریں۔ اگر آپ کا درجہ حرارت مقررہ حد سے زیادہ ہو جائے، تو پتلی MEMS جھلیاں خراب ہو سکتی ہیں، اور یہ ایک ایسی غلطی ہے جسے درست نہیں کیا جا سکتا۔
حقیقی دنیا میں استعمال
آخر میں، آپ تو صرف ایک ایسی سطح چاہتے ہیں جو خشک، صاف اور بے جرثوم ہو۔ یہ لیمپ ایسا ہی کام کرتے ہیں۔ چونکہ حرارت پیدا کرنے کا عمل بہت تیز ہے، اس لئے ویفر کو خشک ہونے میں کم وقت لگتا ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ پانی کے داغ اور کیمیائی باقیات کی فکر کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
اگر آپ پرانے سسٹم کو اپ گریڈ کر رہے ہیں، تو ان لیمپوں کو لگانا بہت آسان ہے۔ صرف ایک بات کا خیال رکھیں: ماؤنٹنگ بریکٹس کے ساتھ نرمی سے پیش آئیں۔ گلاس کو زیادہ دبانے سے اجتناب کریں۔ اگر زیادہ میکانی دباؤ پڑے، تو ٹیوب گرمی کی وجہ سے ٹوٹ سکتی ہے۔