http://ir-heat-corp.com/uk/tags/baking/ Recent content in Baking on Professional IR Heating Solutions Hugo uk Fri, 03 Jul 2026 08:10:21 +0800 http://ir-heat-corp.com/uk/posts/tarc-barc-baking-heater/ Fri, 03 Jul 2026 08:10:21 +0800 http://ir-heat-corp.com/uk/posts/tarc-barc-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Нагрівач для випікання TARC/BARC"></p> <p>На літографічній поверхні навіть напівградусна зміна температури під час процедури TARC/BARC може призвести до появи критичних дефектів, які будуть виявлені лише на пізніх стадіях. Тож необхідно, щоб температура залишалась постійною величиною, а не змінною.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong> Ми створили ці нагрівачі для процедури TARC/BARC на основі елементів короткохвильового інфрачервоного випромінювання та кварцових матеріалів, які покращують тепловий режим. Це дозволяє досягти однорідності температури на всій поверхні відрізка кремнію в межах ±0,1°C.</p> <p>Повторюваність температури також залишається в межах цих значень з кожним циклом, тож параметри процедури не змінюються. Зона нагріву розроблена для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, а також система контролю частинок, яка зменшує кількість частинок у місцях, де фотополімер найбільш чутливий.</p>