На виробничій лінії навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до зміни ширини ліній на поверхні пластини на кілька нанометрів. Крім того, поява частинок може зіпсувати велику кількість продукції. Нагрівачі типу CSP для пластин мають забезпечувати стабільне, точне та швидке нагрівання, щоб відповідати темпам роботи обладнання. Ми створили наші інфрачервоні нагрівачі, враховуючи ці умови.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо джерела короткохвильового інфрачервоного випромінювання з швидким підйомом температури. Це дозволяє досягти стабільної температури протягом кількох секунд, а також забезпечує ефективний контроль температури. Температурний профіль на всій поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, що дозволяє дотримуватися вимог літографії щодо температури під час процесу нагрівання. Емітери розташовані так, щоб забезпечити однорідне нагрівання всієї поверхні пластини. Поверхні камери залишаються прохолодними, що зменшує кількість частинок та сприяє кращому процесу нанесення матеріалу. Також передбачена сумісність з умовами чистих приміщень класу 1–100: матеріали мають низький рівень випаровування, поверхні можна очищувати, а потоки повітря та системи герметизації розроблені так, щоб зменшити кількість частинок.
Чому це ефективно на практиці
Для сушіння пластин інфрачервоне випромінювання швидко та рівномірно виводить розчинники, що скорочує час сушіння без необхідності додаткового нагрівання. Під час попереднього нагрівання та в’ялення фотолегувального матеріалу таке ж швидке та рівномірне нагрівання дозволяє краще контролювати температуру та зменшувати кількість необхідних корекцій. У результаті досягається більша стабільність критичних розмірів, менше дефектів та вища продуктивність. Крім того, споживання енергії зменшується, оскільки нагрівач активується лише тоді, коли це необхідно, що зменшує втрати енергії. Надійність оцінюється за тривалістю роботи та стабільністю параметрів роботи, а не за маркетинговими характеристиками.
Що потрібно знати
Ці нагрівачі можна легко інтегрувати в обладнання, але важливо правильно розташувати їх відносно пластини та оптимізувати систему відведення повітря. Налаштування нагрівачів займає небагато часу, але потрібно налаштувати потужність ламп, їх емісійність та систему контролю температури відповідно до параметрів процесу. Постійна робота на максимальній потужності скорочує термін служби нагрівачів, тож необхідно правильно планувати час їх роботи та температурні параметри. Також потрібно перевірити сумісність напруги та разьємів з обладнанням, а також переконатися у сумісності сенсорів перед впровадженням нагрівачів у експлуатацію.