Очищення напівфабрикатів за допомогою інфрачервоного випромінювання
Будемо чесні: виробництво напівпровідників супроводжується значним виділенням тепла. Протягом довгого часу ми користувалися резистивним нагріванням, що фактично означає спробу нагріти один шматочок тосту, нагріваючи всю кухню. Це серйозна втрата енергії.
Ми знайшли кращий спосіб. Використовуючи лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням, ми можемо направити тепло саме туди, де воно потрібне – на саму пластинку. Більше не потрібно нагрівати повітря навколо неї без жодної причини. Це простий рішення, але воно значно зменшує екологічний слід виробництва.
Чому короткохвильове інфрачервоне випромінювання ефективне
Секрет у тому, що короткохвильове інфрачервоне випромінювання (довжина хвилі від 0,7 до 2,5 мкм) діє дуже ефективно. Воно швидко проникає в матеріал. Просуwanie температури відбувається майже миттєво. Крім того, оскільки це випромінювальне тепло, не потрібно боротися з системою кондиціонування повітря. Системи охолодження не повинні працювати надмірно, що значно зменшує витрати на електроенергію.
Технічні деталі
Ми використовуємо кварцові корпуси та галогенні лампи, щоб філаменти могли довго працювати. Якщо ви використовуєте лінію для обробки пластинок діаметром 300 мм, все зводиться до щільності потужності. Ми використовуємо лампи високої потужності, щоб прискорити процес нагріву. Крім того, ми використовуємо стандартні з’єднувачі, тож можна просто замінити старі резистивні нагрівачі, не руйнуючи всю систему.
Але це не чари. Є свої перешкоди. Оскільки ці лампи дуже потужні, вони створюють велику кількість тепла в певній області. Якщо контролери PID не працюють належним чином чи сенсори дають неточні дані, можна пошкодити саму пластинку, навіть не усвідомлюючи цього. Також потрібно переконатися, що системи охолодження справні. Не можна допустити, щоб випромінювання нагрівало корпус обладнання.
Висновки для заводу
Найкраще те, що не потрібно витрачати енергію під час процедур попереднього нагріву. Кількість кіловат-годин на одиницю продукції значно зменшується. Це спосіб досягти екологічних цілей, не переробляючи всю процедуру виробництва з нуля. Ви можете отримати більше пластинок швидше, з меншими втратами.
Це один з тих рідкісних випадків, коли фінансовий директор та інженери заводу дійсно діють спільно.