Як підтримувати чистоту у вашій кімнаті з класом чистоти 100
У світі виробництва кристалічних пластин навіть одна крапля пилу є серйозною проблемою – це означає загибель усього завантаження чипів. Це дуже стресово. Більшість нагрівальних елементів є проблемою в таких умовах, адже вони починають виділяти гази чи частинки саме тоді, коли цього зовсім не потрібно.
Саме тому ми використовуємо лампи з синтетичного кварцу високої чистоти. Вони не мають таких проблем.
Характеристики кварцу
Ми використовуємо сплав силіцику, який може витримувати високі температури без кристалізації. Якщо використовувати дешеве скло чи кварц низької якості, трубки починають тріскатися чи утворювати пил під час нагрівання та охолодження. Це неприйнятно.
Наші трубки залишаються гладкими. Оскільки інфрачервоне випромінювання потрапляє безпосередньо на поверхню пластини, не існує жодних проміжників, які могли б потрапити на поверхню пластини забруднення.
Встановлення в обладнання
Обладнання для виробництва напівпровідників має обмежений простір. Ми знаємо про це. Тож ми скоригували форму філамента, щоб тепло рівномірно потрапляло на пластину. Не буде жодних „гарячих точок“ чи нерівномірностей. І, що найважливіше, пластина не буде деформуватися під час нагрівання.
Ми також приділяємо особливу увагу герметичності елементів закріплення. Ми стежимо за тим, щоб галогенний газ залишався всередині лампи, а не потрапляв у вакуум.
Але є одна проблема: ці елементи герметизації є дуже чутливими. Якщо один з них зламається, лампа швидко виходить з ладу. Це компроміс. Краще, щоб лампа швидко згоріла, ніж щоб витік газу пошкодив кімнату з класом чистоти 100. Тож потрібно бути обережними під час її використання. Точне вирівнювання є ключем до уникнення надмірного навантаження на кварц.
Експлуатація ламп
Підключення цих ламп до існуючих контролерів PID є простим. Оскільки кварц не затримує тепло протягом довгого часу, лампи швидко нагріваються та охолоджуються. Це дає можливість краще контролювати температуру на поверхні пластини.
Коли лампа досягає своїх меж, її просто потрібно замінити. Це проста процедура заміни. Порада для техніків: перед встановленням лампи необхідно очистити її за допомогою серветок без ворсу та розчину IPA. Якщо все буде чисто, все буде гаразд.