Чому ми переходимо від використання теплого повітря до використання інфрачервоних променів у процесі обробки напівпровідників
Уявіть собі, як працює звичайна духовка: спочатку нагрівається повітря, а потім це повітря нагріває об’єкт, який потрібно обробити. Це підходить для приготування тортів, але що робити під час обробки напівпровідників? Це складно – треба чекати, поки повітря нагріється.
Ось чому багато інженерів відмовляються від використання повітря та переходять на використання інфрачервоних променів.
Інфрачервоні промені не впливають на повітря – вони безпосередньо надають енергію самому об’єкту обробки. Це радіація, а не конвекція. Результат? Полне усунення періоду нагрівання. Не потрібно більше чекати, поки кімната нагріється – можна одразу починати роботу.
Секрет полягає у керамічних кришках
Якщо ви використовуєте інфрачервоний промінь високої потужності, то герметичність є ключовим фактором. Ми використовуємо керамічні кришки для з’єднання кварцової трубки з електричними проводами. Чому саме кераміка? Тому що метал просто не може впоратися з такими умовами. При високих температурах метал ламається, а кераміка залишається міцною. Це означає, що герметичність не буде порушена під час швидкого циклювання.
Крім того, ці кришки забезпечують правильне розташування нитки нагріву. Якщо нитка зміститься хоча б трохи, виникнуть „гарячі точки“. А це проблема – це може спричинити деформацію пластин чи нерівномірне нагрівання. Ми стежимо за тим, щоб керамічні кришки відповідали параметрам теплового розширення кварцу, щоб лампа не розкололась вже при першому ввімкненні.
Швидкість проти температури
Інфрачервоні промені мають високу потужність. Щільність тепла на квадратний дюйм значно вища, ніж у системах з примусовим потоком повітря. Це дозволяє досягти потрібної температури за кілька секунд.
Це є новим стандартом – це дозволяє прискорити процес обробки продукції. Але є один недолік: така інтенсивність негативно впливає на корпус пристрою. Ви, звісно, економите час на обробці, але фактично створюєте „мініатюрне сонце“ всередині свого пристрою. Якщо у вас немає ефективної системи охолодження, ваше обладнання буде пошкоджене. Все залежить від балансу.