http://ir-heat-corp.com/tr/tags/veeco/ Recent content in Veeco on Professional IR Heating Solutions Hugo tr Mon, 29 Jun 2026 06:34:40 +0800 http://ir-heat-corp.com/tr/posts/veeco-mocvd-heater-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:34:40 +0800 http://ir-heat-corp.com/tr/posts/veeco-mocvd-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Veeco MOCVD ısıtıcı lambası"></p> <p>Üretim alanında, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri sırasında meydana gelen termal değişimler, fotorezist profillerinin tahmin edilemez hale gelmesine neden olan faktörlerdir. 2°C’lik bir değişim bile kritik boyut kontrolünü bozar; bu durumda da aşındırma işlemi olumsuz etkilenir. Biz de bu belirsizliği ortadan kaldırmak için Veeco MOCVD ısıtıcı lambasını geliştirdik.</p> <p><strong>İç yapı açısından önemli olanlar</strong><br> Lamba, kuvars kaplamalı yapı içinde kısa dalga boylu NIR halojen elemanları kullanır; böylece hızlı ve lokalize ısıtma sağlanır ve wafer düzeyindeki sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında kalır. Lamba, fotorezistin çözücülerin uzaklaştırılması için yapılan yumuşak pişirme işlemlerinden tutun da yapışmayı sağlamak ve durağan dalgaları ortadan kaldırmak için yapılan sert pişirme işlemlerine kadar tüm süreçlerde istikrarlı çalışır. Ayrıca termal bütçeyi aş<a href="https://goldisgood.com">madan</a> çalışır.</p>