Нагреватель для снятия фотополимерной пленки

Thu, 02 Jul 2026 08:05:37 +0800

На производственной площадке камера для удаления фотополимера остается неактивной, пока температура в ней не достигнет необходимого уровня. Если нагревательный элемент начинает работать некорректно, на поверхности остаются остатки материала, из-за чего следующий слой не прилипает должным образом. Необходим контроль температуры, чтобы она всегда сохранялась на заданном уровне, как при каждой обработке, так и для каждой партии продукции.

Что действительно важно Мы использовали в качестве нагревательных элементов кварцевые излучатели длинноволнового инфракрасного излучения. Они реагируют быстро, что позволяет точно контролировать температуру. Устройство обеспечивает однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей площади пластины. Благодаря этому процессы обработки проходят корректно во всей камере. Устройство может использоваться в помещениях класса чистоты 1–100. Мы также проверяем отсутствие частиц с помощью специальных датчиков. Устройство может работать круглосуточно – его срок службы превышает 5 000 часов, а отклонение температуры составляет менее 5%. Рабочее напряжение – 208–240 В; устройство имеет компактные размеры, что позволяет использовать его при модернизации оборудования. Также имеются стандартные интерфейсы для соединения с камерой.

Нагреватель для запекания стойкого фоторезиста

Wed, 03 Jun 2026 12:09:07 +0800

На литографическом этаже достаточно отклонения температуры мягкого запекания всего на 0,2°C, чтобы вызвать смещение критического размера и увеличить шероховатость краев линий — и внезапно приходится списывать большое количество изделий. Запекание — это не просто разогрев. Это тепловой бюджет, который фиксирует профиль фоторезиста до экспозиции. Это реальность, для которой мы разработали наши нагреватели для запекания фоторезиста: равномерность и воспроизводимость температуры, важные на уровне нанометров, а не только градусов.

Что действительно важно с технической точки зрения
Мы обеспечиваем равномерность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности запекания на уровне пластин, чтобы профили мягкого и твердого запекания оставались стабильными партия за партией. Конструкция соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100, используется материал с низкой газовыделяемостью и поверхность с отделкой, минимизирующей генерацию частиц до практически нулевого уровня. Контроль нарастания температуры воспроизводим, поэтому одна и та же рецептура обеспечивает одинаковое поведение резиста при каждом запуске. Система рассчитана на круглосуточную работу в фабричных условиях — компоненты выдерживают высокочастотные тепловые циклы, а горячая зона сохраняет калибровку после многократных влажных очисток.

Фоторезист on Professional IR Heating Solutions

Нагреватель для снятия фотополимерной пленки

Нагреватель для запекания стойкого фоторезиста