http://ir-heat-corp.com/ru/tags/%D0%BA%D0%BE%D0%BD%D0%B2%D0%B5%D0%BA%D1%86%D0%B8%D1%8F/ Recent content in Конвекция on Professional IR Heating Solutions Hugo ru Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ru/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Mon, 08 Jun 2026 04:52:25 +0800 http://ir-heat-corp.com/ru/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Инфракрасная сушка против конвекционной для сушки пластин"></p> <p>Наблюдайте, как пластина выходит из финального ополаскивания. Если этап сушки не соответствует тепловому бюджету, всё равно образуются микро-скопления воды — и следующий слой фоторезиста будет с ними бороться. Появляются краевые наплывы. Критические размеры изменяются. Внезапно партия рискует стать браком.</p> <p>Так что дело не только в быстрой сушке. Важно равномерно и чисто подавать тепло по всей поверхности.</p> <p><strong>Что важно внутри</strong></p> <p>Инфракрасная сушка воздействует на воду напрямую коротковолновой или средневолновой энергией — быстрое бесконтактное нагревание. Конвекционная сушка использует нагретую воздушную струю — это мягче для чувствительных слоёв, но более чувствительно к количеству частиц в воздухе.</p>